판매용 중고 SPEEDFAM Auriga C #141544

SPEEDFAM Auriga C
ID: 141544
Fully integrated post-CMP cleaner for dry-in, dry-out processing Double side PVA cleaning through 2-brush boxes using common chemistries Cleaner water tracks and non-contact rinse ring for minimal surface contact SECS-II and GEM compliant.
SPEEDFAM Auriga C는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 기판 및 기타 제품 생산에 이상적인 다용도 플랫폼입니다. Auriga C는 뛰어난 표면 마무리 품질과 높은 처리량을 제공합니다. 고급 설계를 통해 얇은 (thinning), 뒷면 연삭 (back-side grinding), 표면 연삭 (surface grinding), 랩핑 (lapping), 연마 (polishing) 등 반도체 제조 산업의 여러 응용 분야에 사용할 수 있습니다. SPEEDFAM Auriga C에는 최고 15,000 rpm에 도달 할 수있는 고속 스핀들이 장착되어 있으며, 조정 가능한 범위는 400 ~ 8,000 rpm입니다. 스핀들은 FAG E-learning 기술을 사용하여 많은 웨이퍼 그라인딩 사이클에서 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 기계는 또한 소프트 (soft) 및 하드 (hard) 재료에 뛰어난 연삭 기능을 제공하는 자기 힘 구동 시스템을 갖추고 있습니다. 이 "드라이브 '장치 는 재료 의 경도 에 관계 없이 연삭 과정 의 정확성 을 유지 할 수 있다. 이 기계의 모듈식 설계 (Modular Design) 를 사용하면 완전히 사용자정의하여 사이클 시간을 줄이고 생산성을 유지할 수 있습니다. 여기에는 강철에서 다이아몬드 연마제에 이르는 다양한 분쇄 매체가 포함됩니다. 스핀 온 (spin-on) 필터의 추가 옵션은 사용되는 유체의 순도를 보장합니다. Auriga C에는 오염을 줄이기 위해 먼지 수집 및 먼지 보호 장치도 있습니다. 먼지 수집 도구 (dust collection tool) 는 유지 관리가 용이하며, 사용하기 쉬운 진공 청소기 프레임과 함께 먼지 필터 자산이 통합되어 있습니다. 이 모델에는 강력한 PLC (programmable logic controller) 가 포함되어 있으며, 이는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 프로세스의 모든 측면을 자동으로 제어합니다. 따라서 사용자 정의 설정을 특정 응용 프로그램에 맞게 설계하여 반복성과 정확성을 보장할 수 있습니다 (영문). SPEEDFAM Auriga C는 기판 및 구성 요소에 대한 일관성 있고 고품질 결과를 보장하도록 설계된 고정밀 테스트 장비, 자동 시스템, 소프트웨어의 조합을 특징으로합니다. Auriga C는 광범위한 제조 요구 사항을 충족하는 이상적인 장비로, 생산 정확성, 유연성, 고성능 기능을 제공합니다.
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