판매용 중고 SPEEDFAM 12B-6L #9007407

ID: 9007407
빈티지: 1990
Lapping machine, tank attached, 1990 vintage.
SPEEDFAM 12B-6L은 반도체 제조에 사용되는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 6 개의 그라인딩 휠 (grinding wheel) 을 사용하면 반도체 웨이퍼를 정확하고 빠르게 분쇄하여 원하는 표면 마무리와 치수 정확도를 제공 할 수 있습니다. 이 장치는 우수한 품질과 안정적인 성능을 제공하도록 설계되었으며, 저용량 (low-volume) 생산과 대용량 (high-volume) 생산이 모두 가능합니다. 12B-6L은 송전 강제 공기 환기가있는 30 인치, 강철 밀폐 챔버 (steel-enclosed chamber) 를 갖추고 있으며, 이는 기계에있는 모든 웨이퍼의 균일 한 연마에 필수적인 효과적인 온도 조절을 허용합니다. 이 도구는 또한 과도한 연삭 압력과 온도로 인해 웨이퍼 파손 가능성을 제거합니다. 6 개의 그라인딩 휠은 테이블에서 개별적으로 조정 가능하며, 자동 반복 그라인딩 시퀀스를 위해 프로그래밍 될 수 있습니다. SPEEDFAM 12B-6L에는 WFM (Work Flow Monitor) 이 있습니다. WFM (Work Flow Monitor) 은 모든 주기마다 균일성과 반복 성을 유지하는 데 도움이 되는 공정 제어 자산으로, 웨이퍼가 원하는 모양과 표면 마무리를 유지합니다. 이 모델은 프로그래밍 가능한 메모리 카드를 사용하여 각 웨이퍼 크기 (wafer size) 와 두께 (thickness) 에 대해 일관된 결과를 전달합니다. 생산 중 최고 품질의 표준을 유지하기 위해 12B-6L은 "안전 연결 (Safety Interlock)" 을 사용하여 사람의 오류로 인한 운영 사고를 방지합니다. 가장자리 및 표면 버를 제거하는 그라인딩 휠 위에 12 세대 랩핑 플레이트가 있습니다. 또한, 전동 작업 헤드는 다양한 각도 OSA (광학 구형 수차) 로 조절 할 수 있으며, 높은 정확도와 선명한 이미지를 가진 웨이퍼를 생성합니다. 장비에는 모든 프로덕션 실행의 디지털 레코드를 제공하는 컴퓨터 모니터 (Computer Monitor) 와 프린터 (Printer) 가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 완료된 웨이퍼 수, 연마주기 수 및 시간, 연마 매개변수, 웨이퍼 표면 조건 등의 데이터 로그가 제공됩니다. 그런 다음, 이 로그를 인쇄하여 데이터를 추가로 분석하고, 프로세스를 검토하고, 지속적으로 최적화할 수 있습니다. SPEEDFAM 12B-6L (SPEEDFAM 12B-6L) 은 수작업 시간을 단축하여 생산성을 향상시키는 안정적인 시스템입니다. 정확성과 반복성이 높아 반도체 제작에 중요한 도구다. 반도체 제작을 위한 공구다.
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