판매용 중고 G&N MPS R400 #9004051

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ID: 9004051
Wafer grinder.
G&N MPS R400은 반도체 및 관련 제품 제조에 사용되는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 "시스템 '은 순수 한" 실리콘' 에서부터 "갈륨 비소 ', 탄화" 실리콘', "알루미나 '및" 사파이어' 에 이르는 광범위 한 물질 에서 단단 한 단계 나 여러 단계 의 고성능 연마, 랩핑 및 연마 를 하도록 설계 되었다. MPS R400은 고속 로터 기반 그라인딩 헤드 (grinding head) 와 통합 랩핑 플레이트, 연마 패드, 슬러리 배달 장치 (slurry delivery unit) 를 갖춘 멀티 프로세스 솔루션을 사용합니다. 그라인딩 헤드는 고유한 자가 잠금 토크 머신 (self-locking torque machine) 으로 설계되어 진동을 줄이면서 효율적이고 정확한 성능을 제공합니다. 랩핑 플레이트에는 다양한 재료 유형에 대해 그리트 크기가 다른 여러 분리 가능 플레이트 (removable plate) 가 포함되어 있습니다. 또한, 판에는 마비 감지 도구가 장착되어 있으며, 이 도구는 프로세스 전반에 걸쳐 실시간 피드백을 제공합니다. 연마 패드 (polishing pad) 는 서로 다른 표면 마무리에 맞게 사용자 정의되었으며, 뛰어난 프로세스 일관성을 유지하면서 균일 한 연마를 보장하기위한 회전 메커니즘을 갖습니다. 슬러리 (slurry) 배달 자산에는 고속 노즐 (high-speed nozzle) 과 용량 밸브 (dosing valve) 가 장착되어 있어 모든 부품이 고르게 연마되도록 일관된 유속 (flow rate) 으로 일관된 양의 재료를 제공합니다. G&N MPS R400은 고급 컨트롤러와 전자 컨트롤로도 설계되었습니다. 컨트롤러 (Controller) 는 각 프로세스를 모니터링하고 최적화할 수 있으며, 운영자가 모델의 기능을 모니터링할 수 있는 상세한 프로세스 보고 기능을 제공합니다. 또한, 이 장비는 프로덕션 라인 또는 중앙 집중식 기계에 통합될 수 있으며, 다른 프로덕션 시스템 (예: 클리닝, 패키징, 테스트) 과 상호 연결될 수 있습니다. MPS R400 (MPS R400) 은 안정적이고 정밀한 시스템으로, 매우 정밀하고 반복성이 뛰어난 다양한 반도체 제품을 생산할 수 있습니다. 원하는 결과를 얻으려면 각 단계를 모니터링하고 관리해야 하는 자동화된 작업 (automated operation) 에 이상적인 솔루션입니다.
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