판매용 중고 VARIAN 3180 #9018131

VARIAN 3180 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 기판에 박막 레이어를 만드는 데 사용되는 고효율 도구입니다. 이 "시스템 '은 활력 있는 입자, 일반적 으로 원자 혹은" 이온' 의 광선 을 가진 분자 들 로 이루어진 화합물 을 폭격 함 으로써 작용 한다. 이 입자 들 이 표적 을 치면, 물질 이 분출 되어 기판 에 증착 된다. 이 공정 은 반도체 제조, 광학 "코우팅 '의 증착, 기타 여러 가지 응용 에 일반적 으로 사용 된다. 3180은 폐쇄 사이클, 3 헤드 강력한 RF 다이오드 스퍼터링 장치입니다. 효율적인 박막 증착을 가능하게 하는 여러 가지 유익한 기능으로 설계되었습니다. 이 기계는 유기 필름과 무기 필름에 적합하며 3 개의 독립적 인 증착 헤드가 있습니다. 3 개의 헤드는 결과 필름의 균질성을 보장하기 위해 회전 (rotation) 또는 병렬로 배치 될 수있다. "에너지 ', 압력 및 전압 의 수준 을 모두 증착실 에서 조정 하여 그 과정 을 최대화 시킬 수 있다. VARIAN 3180 도구는 또한 RF 밀봉과 가스 및 압력 제어를 정확하게 공급할 수있는 향상된 프로세스 제어를 제공합니다. 또한, 자산은 클리닝, 재충전 지점, 다단계 레시피 제어 (multi-step recipe control) 등 다양한 메뉴 기반 운영 장비 기능을 갖춘 정교한 자동화 모델을 활용합니다. 이 시스템의 설계는 또한 대상의 더 많은 수명을 보장하는 데 도움이 되며, 따라서 사용자는 '운영 비용 (Production Cost)' 을 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. 3180 년에는 방을위한 특수 스퍼터 코팅 (anti-sputter coating) 이 있으며, 이는 먼지가 퇴적 환경에 진입하는 것을 방지하여 대상 재료의 품질을 유지하는 데 도움이됩니다. 안전 측면에서 VARIAN 3180에는 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이 장치의 구성 요소는 방화 (fireproof), 전기 보호 연결 (electrical protection connection) 및 과전류를 방지하는 독특한 "보조 모드 (assist mode)" 인 먼지 보호 커버로 설계되었습니다. 이 기계는 또한 종합적인 전기 및 환경 안전 시스템 (Electrical and Environmental Safety System) 을 가지고 있으며, 이 시스템은 장애 또는 잠재적 문제를 감지하도록 설계되었습니다. 결론적으로, 3180 Sputtering Tool은 신뢰할 수 있고 강력한 장비로, 많은 박막 증착 응용 프로그램에 적합합니다. 효율적인 처리, 정확한 제어, 향상된 안전성을 지원하는 여러 가지 유익한 기능을 제공합니다. 이 모델은 통합 자동화 자산, 먼지 보호 커버 (dust protection cover), 종합적인 안전 시스템 (compensive safety system) 을 통해 비용 및 에너지 소비를 줄여 좋은 생산 결과를 지원할 수 있도록 설계되었습니다.