판매용 중고 ULVAC MLX-3000N #9053707

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ULVAC MLX-3000N
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ID: 9053707
Sputtering systems.
ULVAC MLX-3000N은 연구 및 개발 응용 프로그램을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 금속, 절연체, 반도체 등 다양한 박막 물질을 증착 할 수 있습니다. 이 제품은 3 개의 대피 챔버 (Target Chamber, Reaction Chamber 및 Coating Chamber) 를 갖춘 ULVAC 독점 MGP 기술을 사용하여 모두 단일 펌프에 연결되어 있습니다. 이 모듈식 설계를 통해 다양한 기판 크기, 모양, 구성이 가능합니다. Target Chamber에는 ULVAC 특허 마그네트론 스퍼터링 소스 기술이 장착되어 있습니다. 스퍼터링 소스의 9 개의 큰 자석은 알칼리 할라이드 이온 소스와 결합되어 사실상 무제한 소스 수명으로 비 진공 조건에서 최대 스퍼터링 스퍼터링 스루 퍼팅 (sputtering through-put) 을 허용합니다. 고도로 균일 한 이온화 된 플라즈마는 이온 소스에 의해 Target Chamber 내에서 생성됩니다. 이것은 전체 기판 영역 전체에서 균질 증착을 허용하면서 재료 사용 효율성을 증가시킵니다. 반응 챔버 (Reaction Chamber) 는 스퍼터링 과정에 아민, 알케인 또는 산소와 같은 가스를 도입하는 데 사용될 수있는 고압 반응성 챔버입니다. 고급 광학 모니터링 기능을 통해 연구원들이 스퍼터링 중에 필름 특성을 평가 할 수 있습니다. 마지막으로 코팅 챔버는 MLX-3000N 장치의 출력입니다. 여기서, 스퍼터 공정으로 생성 된 금속 필름, 코팅 또는 기타 나노 구조물이 기판에 침전된다. 이 시스템의 고소재 처리량 (high material throughput) 기능을 통해 대용량 기판 크기와 고정밀 코팅 결과를 얻을 수 있습니다. ULVAC MLX-3000N은 또한 여러 센서를 사용하여 증착 프로세스 조건을 실시간으로 모니터링합니다. 이러한 센서에는 압력 게이지, 진공 컨트롤러 및 기판 온도 모니터가 포함됩니다. 이러한 구성 요소는 과학자와 연구원에게 자세한 피드백 정보를 제공하고, 신속한 프로세스 최적화를 가능하게 합니다. MLX-3000N은 연구원과 개발자의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 스퍼터링 머신입니다. 처리량, 광역 코팅 (wide-area coating), 다양한 재료에 대한 고정밀 증착과 같은 다양한 이점을 제공합니다. 모듈식 디자인과 고급 센서 (advanced sensor) 는 고급 애플리케이션 개발에 이상적인 선택입니다.
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