판매용 중고 MRC / MATERIALS RESEARCH CORPORATION SS-8633 #132274

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ID: 132274
Sputtering system, parts system No turbo pump Targets / RF Generator included.
MRC/MATERIAL RESEARCH CORPORATION SS-8633은 최첨단 스퍼터링 장비로, 얇은 필름 및 나노 구조화 된 재료를 반도체 웨이퍼, 안경 및 금속과 같은 기판에 증착시키기 위해 개발되었습니다. 이 시스템은 다양한 재료의 조합을 위해 3 개의 독립적 인 스퍼터링 소스를 사용하여 커버리지와 최적의 증착률을 제공합니다. 스퍼터링 소스는 2 개의 표적 음극 설계를 사용하여 광범위한 표적 재료 및 증착률을 허용합니다. 이 장치에는 조정 가능한 스퍼터링 압력, 온도 및 가스 흐름 모니터링도 포함됩니다. 이 기계는 스퍼터 건 전류 (sputter gun current) 및 기타 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하여 필름 불균일 성을 최소화하여 고품질 박막의 프로세스 제어 및 최적화에 이상적입니다. MRC SS-8633에는 고급 적외선 센서 (feedback and control on the process temperature) 도 있습니다. 이 도구에는 물 순환 (water circulation) 과 자동 차단 밸브가있는 고급 냉각 관리 에셋이 장착되어 있어 과잉 냉각을 방지합니다. MATERIALS RESEARCH CORPORATION SS-8633은 내구성과 반복 가능한 스퍼터링 프로세스에 이상적이며, 목표 전환 시간이 빠르고 스퍼터링 실행 사이의 다운타임이 최소화됩니다. 이 모델은 개선 된 박막 균일성 (Thin-film unifority) 을 제공하며, 기판의 모든 부분에 걸쳐 정확한 프로세스 제어 및 반복 성을 제공합니다. 또한 SS-8633 (SS-8633) 은 다양한 가스로, 다양한 재료에 반응성을 제공합니다. 또한 MRC/MATERIAL RESEARCH CORPORATION SS-8633은 다양한 프로세스 제어 및 자동화 시스템과 통합되어 생산성 및 프로세스 유연성을 향상시킵니다. 광범위한 프로세스 가스 및 프로세스 제어 (process control) 와 함께 MRC SS-8633은 다양한 응용 및 연구 요구에 대한 정밀 박막 증착을 제공합니다. 이 장비에는 사용자 친화적 인 GUI (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어, 사용자가 신속하게 프로세스를 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 전체적으로, MATERIALS RESEARCH CORPORATION SS-8633은 혁신적이고, 정확하고, 매우 효율적인 스퍼터링 도구 역할을하며, 다양한 기판에 얇은 필름과 나노 구조화 된 재료를 빠르고 정확하게 배치하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 정확한 스퍼터 건 제어, 조절 가능한 스퍼터링 압력, 프로세스 모니터링, 냉각 관리 및 다양한 프로세스 가스를 갖추고 있습니다. 또한, 이 장치는 다양한 프로세스 제어 및 자동화 시스템 (process control and automation systems) 과도 호환되며, 다용도와 생산성이 향상되었습니다.
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