판매용 중고 MAT-VAC MVT-94X #9003937
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판매
ID: 9003937
Sputtering system
Dual level load lock
CTI-8 cryo pump
Simultaneous processing of 12" x 12" pallets
DC Magnetron, RF Magnetron and RF diode sputtering capabilities
24 V DC components
Single and bi-directional substrate scanning modes
Vacuum gauging controls: Granville Philips 307 and Digivac
Proteus interlock water flow switches
208 V, 100 A, 60 Hz
Includes:
MAT-VAC modular electro-pneumatic valve bank
Hydraulic pump/motor and all lines
(2) Electro-pneumatic gate valves for process chamber and load lock with position sensing.
MAT-VAC MVT-94X는 최상위 산업 등급 증착 응용을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 뛰어난 유연성과 성능을 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스와 결합합니다. 이 장치는 기능이 풍부하여 사용자가 효율성을 높여 빠르고 정확하게 증착 (deposition) 프로세스를 완료할 수 있습니다. MVT-94X는 2 개의 독립적 인 마그네트론을 특징으로하며, 이는 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 조정 할 수 있습니다. 각 마그네트론은 다양한 전력 수준으로 작동 할 수 있으며, 이를 통해 스퍼터링 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 2 개의 개별 열 증발 소스를 포함하는 패러데이 케이지 (Faraday cage) 에도 기계가 장착되어 스퍼터링 기능이 향상되었습니다. 이 도구에는 고급 자동 프로세스 제어 자산도 장착되어 있습니다. 이 모델은 스퍼터링 (sputtering) 프로세스의 모든 매개변수를 지속적으로 모니터링하고 그에 따라 조정하여 사용자가 증착주기 내내 일관된 성능을 유지할 수 있도록 합니다. 이 자동화된 프로세스 제어 기능은 사람의 오류를 크게 줄이고, 장비 성능을 크게 향상시킵니다. 스퍼터링 시스템은 또한 많은 혁신적인 안전 기능으로 설계되었습니다. "스퍼터링 '중 에 방출 될 수 있는 위험 한 입자 나 증기 로부터 사용자 를 보호 하기 위해" 할로플렉스' 장치 를 사용 할 수 있다. 또한, 통합 잠금 기계는 권한이 없는 직원이 도구에 액세스하지 못하도록 합니다. MAT-VAC MVT-94X (MAT-VAC MVT-94X) 는 고급 기술과 다용성을 결합한 인상적인 자산으로, 대용량 산업용 스퍼터링 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 이 모델의 강력한 기능으로, 스퍼터링 프로세스를 사용자 정의하고 최적화할 수 있는 기능을 제공합니다. 또한, 장비의 자동 프로세스 제어 시스템 (automated process control system) 과 할로플렉스 장치 (haloplex unit) 는 사용자의 안전성과 시스템 성능을 보장합니다.
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