판매용 중고 ANATECH / TECHNICS RF-2C #9100809

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ANATECH / TECHNICS RF-2C
판매
ID: 9100809
웨이퍼 크기: 4"
Sputtering system, 4".
ANATECH/TECHNICS RF-2C는 박막 부품 제조에 산업용으로 설계된 스퍼터링 시스템입니다. 재료 유형, 두께, 백분율 구성, 텍스처, 서피스 형태 등 증착 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 특허받은 이중 주파수 전원 공급 장치는 무선 주파수 (RF) 전원 부품을 사용하여 기존의 스퍼터링 (sputtering) 시스템에서 제공하는 것보다 더 높은 수준의 정밀도를 제공합니다. 이를 통해 컴포넌트의 레이어 특성이 단단한 제조 공차를 충족시키고 고급 산업 응용 프로그램 (advanced industrial application) 에 적합합니다. ANATECH RF-2C는 진공 상태에서 작동하기 위해 완전 자동화 된 마이크로 프로세서 제어 스퍼터링 챔버를 갖추고 있습니다. 그것의 독특한 더블 슬리팅 셔터 (double-slitting shutter) 는 잠재적 인 입자 폭격으로 기판을 보호하며, 각 재료 증착에 대해 증착률과 균일성을 개별적으로 제어 할 수있다. TECHNICS RF-2C에는 프로세스 안정성 향상을 위한 고해상도, 자동 질량 흐름 속도 컨트롤러도 포함되어 있습니다. RF-2C에는 긴급 종료 시스템 (Emergency Shutdown System), 압력 완화 밸브 (Pressure Relief Valve) 및 안전 매개변수 실시간 모니터링과 같은 다양한 안전 기능이 있습니다. 컨트롤러는 폭발적인 분위기에서 작동을 견딜 수 있도록 설계되었으며 Class 1 요구 사항을 충족하도록 인증되었습니다. ANATECH/TECHNICS RF-2C는 사용 편의성과 최대 유연성을 위해 설계되었습니다. 사용자 인터페이스는 간편하게 모니터링하고 제어할 수 있는 풀 컬러 터치 스크린 패널로 구성되어 있습니다. 컨트롤러 (Controller) 소프트웨어는 완벽하게 사용자 정의할 수 있으므로 프로세스 레시피를 만들고 향후 검색을 위해 운영 데이터를 저장할 수 있습니다. ANATECH RF-2C는 이더넷 연결 및 직접 전자 메일 경보를 통해 원격 작동도 제공합니다. TECHNICS RF-2C는 알루미늄, 크롬, 실리콘, 티타늄 및 니켈을 포함한 재료를 코팅 할 수 있습니다. 그것은 다양한 소스에서 결정을 기화시키는 데 사용될 수 있으며, 또한 스퍼터-에칭 재료 (sputter-etching material) 의 능력을 가지고 있습니다. RF-2C 는 울트라 파인 (Ultra Finish) 방식으로 구성 요소 및 제품을 효율적으로, 정확하고, 안정적으로 제조할 수 있도록 설계되었습니다.
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