판매용 중고 ANATECH / TECHNICS HUMMER 8.1 #9063447

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ANATECH / TECHNICS HUMMER 8.1
판매
ID: 9063447
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 1996
Chrome deposition system, 4" Installed in a cleanroom 1996 vintage.
ANATECH HUMMER 8.1 스퍼터링 장비는 코팅 증착 및 샘플 스퍼터 준비 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 이 최첨단 시스템은 자동 현장 도량형 장치 (in situ metrology unit) 를 갖추고 있어 정확한 스퍼터 제어 및 동시 분석이 가능합니다. TECHNICS HUMMER 8.1은 4 x 10-7 파스칼 (Pascal) 의 저압과 넓은 기판 영역에 대한 높은 정도의 스퍼터 균일 성을 갖춘 하중 잠금 챔버가있는 고진공, 다중 소스 스퍼터링 머신입니다. ANATECH/TECHNICS HUMMER 8.1의 주요 구성 요소는 스퍼터 소스입니다. 이것은 다양한 금속과 합금을 증착 할 수있는 고류, 회전 가능한 플라즈마 소스입니다. 스퍼터 소스는 두 개의 뚜렷한 섹션을 특징으로하며, 스퍼터 듀티 사이클, 가스 흐름 및 압력, 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 독특한 설계를 통해 각 섹션에 대한 독립적 인 스퍼터 제어가 가능합니다. 이 스퍼터 소스에는 정확하고 안정적인 플라즈마 모니터링 데이터를 제공하는 Plasma View III 패널이 장착되어 있습니다. ANATECH HUMMER 8.1 (ANATECH HUMMER 8.1) 의 자동화 도구는 컨트롤러 모듈의 분산 컴퓨터 자산에 의해 구동되며, 스퍼터 모델의 모든 기능을 제어하기위한 포괄적이면서도 유연한 플랫폼을 제공합니다. 자동화 장비에는 사용하기 쉬운 아날로그 제어 및 디지털 판독값이 있는 제어판 (Control Panel) 이 포함되어 있습니다. 또한 하중 잠금 시스템 (Load Lock System) 을 통해 챔버에 기판을 빠르게 로드하고 정확한 스퍼터 증착이 가능합니다. 또한, TECHNICS HUMMER 8.1은 독특한 현장 도량형 장치를 특징으로하여 정확한 스퍼터 제어 및 동시 분석이 가능합니다. 이 기계에는 이미 잔류 가스 분석기, Auger electron 분광법 및 Ar-ion 밀링을 포함한 다양한 분석 도구가 장착되어 있습니다. 2 개의 광 포트도 포함되어 있으며, 스퍼터 프로세스 동안 기판을 모니터링 할 수 있습니다. 아나텍/테크닉스 허머 8.1은 안전을 염두에 두고 설계되었습니다. 비상 종료 시스템과 추가 예방 조치를 위해 수냉식 자석이 장착되어 있습니다. 또한, 이 스퍼터링 (sputtering) 도구는 초고성능 환경에서 안정적인 성능과 낮은 유지 관리 비용으로 작동하도록 설계되었습니다. 결론적으로, ANATECH HUMMER 8.1은 다양한 금속 및 합금에 대해 정확하고 신뢰할 수있는 스퍼터 증착을 제공 할 수있는 고급 스퍼터링 자산입니다. 유연성이 뛰어난 자동화 모델, 현장 도량형 장비 및 안전 종결 시스템이 특징입니다. 고급 설계로 더 큰 기판에 대한 정확한 스퍼터 제어, 분석 및 균일 한 증착이 가능합니다.
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