판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 610 #9142139

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ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 610
판매
ID: 9142139
웨이퍼 크기: 6"
PVD Sputtering system, 6" PVD Sputtering: Ta, Ta2O5, HfO2 Part number: GOD01042106-01.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 610은 다양한 유형의 샘플에서 유기 또는 무기 표본의 에칭 및 재시에 이상적인 기능을 갖춘 etcher/asher입니다. ADIXEN 610은 고급 기술을 통해 매우 균일하고 일관된 에칭 및 애싱 성능을 제공합니다. 알카텔 610 (ALCATEL 610) 은 신뢰성 향상, 고유 한 온도 조절 기술을 위한 견고한 모듈식 설계를 갖추고 있으며 열 안정성 향상을 위한 고급 펠티어 (Peltier) 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 광범위한 에치 패턴을 제공하며 진공 또는 10-5 torr에서 760 torr까지의 압력으로 작동 할 수 있습니다. 또한, 안정적인 에칭을 위해 실온에서 200 C까지 정확한 온도 조절을 제공하며, 유기 샘플을 제거하기 위해 최대 1000 C의 온도를 돌파할 수 있습니다. 610에는 또한 2 개의 둥근 하중 잠금 장치, 시청 포트, 샘플 캐리어, 수동 하중 시스템, 자동 중심 장치 및 향상된 성능을 위해 가열된 쿼츠 에치 챔버 (heated quartz etch chamber) 와 같은 다양한 액세서리가 제공됩니다. 또한, 쉽게 작동하고 직관적인 프로그래밍을 위해 설계된 CAD 제어 시스템을 갖추고 있습니다. PFEIFFER 610은 강자성, 전도성 및 비 전도성 합금, 세라믹, 반도체, 금속 및 기타 다양한 재료를 포함한 다양한 재료를 에치 할 수 있습니다. 또한 최대 4 개의 "x4" 의 샘플을 처리 할 수 있으므로 다양한 에칭 응용 프로그램에 이상적입니다. ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 610은 최첨단 기술로 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 Etcher/Asher 장치입니다. 저온 에칭 기능, 일관된 에칭 성능, 광범위한 에치 패턴, 유기 표본의 부드러운 재 (ashing) 를 제공합니다. 또한 직관적 인 프로그래밍, 사용자 친화적 인 운영 및 다양한 액세서리를 제공하여 ADIXEN 610을 유기 및 무기 표본의 에칭 및 애쉬 (ashing) 에 이상적인 선택으로 만듭니다.
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