판매용 중고 AJA Orion 8 #9171669
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판매
ID: 9171669
웨이퍼 크기: 6"
Reactive RF sputter deposition system, 6"
(7) AJA High vacuum magnetron sputtering sources
(2) RF Generators 300W
(3) DC Generators 750W for single or multi-layer deposition or co-sputtering
4” Substrate
With rotation 0-40 RPM
Radiant heating: 850˚C
RF / DC Biasing: 100W RF generator
Currently de-installed.
AJA Orion 8은 NAND 플래시, LCD, OLED, CIS, MIST 및 태양 에너지를 포함한 다양한 차이 응용 분야에서 기판에 박막을 배치하도록 설계된 최첨단 스퍼터링 시스템입니다. 오리온 8 (Orion 8) 은 통합 디자인과 첨단 기술로 인해 탁월한 성능과 비용 효율성을 제공합니다. AJA Orion 8의 코어는 8 소스, 테이블 탑 유닛으로 구성되며, 효율적인 스퍼터링 소스 레이아웃은 최적의 박막 균일성을 제공합니다. 마그네트론 소스와 평면 코일의 인라인 구성은 스퍼터링 커버리지를 향상시키는 반면, 사용자 친화적 인 소프트웨어는 프로세스를 정확하게 제어합니다. 이 기계는 표준 캐리어 로봇 (carrier robot) 과 컨베이어 시스템 (conveyer system) 을 포함한 다양한 하드웨어 시스템에 쉽게 연결할 수 있습니다. 크기가 작고, 바닥 공간이 최소화되며, 생산 환경에 쉽게 적응할 수 있습니다. 사용자 중심 설계는 유지 관리를 위해 챔버에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 내장 시스템 기능을 통해 프로세스 자동 최적화 (Automatic Process Optimization) 및 피드백 조정 (Adaptive Feedback Control) 기능을 통해 프로세스 안정성과 향상된 수율을 보장할 수 있습니다. 안전은 챔버 압력 및 가스 흐름을위한 여러 센서, 잠금/태그 아웃 인터 록 (lock out/tag out interlock), 방사성 열원에 대한 인원 보호 등 광범위한 안전 시스템에 의해 제공됩니다. 오리온 8 (Orion 8) 의 최첨단 기능 세트에는 고출력/고수명 성능, 최저 소유 비용을위한 신뢰할 수있는 소스, 가스 구성, 유속, 온도 등 챔버 변수에 대한 더 나은 제어가 가능한 질량 스펙트럼 기술이 포함됩니다. 이를 통해 신속한 설정 최적화 및 강력한 프로세스가 가능합니다. AJA 오리온 8 (Orion 8) 은 매우 효율적이고 안정적인 스퍼터링 시스템으로, 고품질 영화를 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 오리온 8 (Orion 8) 에서 제공하는 탁월한 제어, 정밀도, 성능을 통해 우수한 생산량을 보장하면서 주기 시간을 줄일 수 있습니다.
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