판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ATON 1600 #185058

AMAT/APPLIED MATERIALS ATON 1600 은 다양한 업종의 고급 기술 애플리케이션을 위해 특별히 설계된 스퍼터링 시스템입니다. 원하는 사양에 따라 실리콘, 갈륨 비소 (gallium arsenide), 유리 (glass) 와 같은 기판에 박막을 증착 할 수 있습니다. AMAT ATON 1600 (AMAT ATON 1600) 은 대상 물질을 관통하는 고 에너지 랜덤 빔 (ion) 의 이온 빔을 특징으로하며, 원자를 제압하고 기판에 응축하기 전에 증기가 된다. 이온 스퍼터링 기술 (ion sputtering technology) 이라고 불리는이 과정은 전통적인 스퍼터링 기술에 비해 더 나은 균일성과 밀도를 제공하며 증착과 에칭을 모두 할 수 있습니다. 이 시스템에는 각각 최대 1.6KW를 수용 할 수있는 3 개의 소스 음극이 장착되어 있습니다. 최적의 챔버 활용을위한 멀티 타겟 스퍼터 소스가 있습니다. 디지털 플랫 탑 전자 제어를 통해 추가 균일성이 향상되었습니다. 파동 폭이 좁은 강력한 300KW 전원 공급 장치 (pulse width modulation) 를 통해 높은 공정 수율을 제공합니다. 저에너지 이온 (low-energy ion) 으로 전환 된이 제품은 다른 처리 요구에 따라 반응성 가스로 스퍼터 에칭을 할 수 있습니다. 응용 재료 ATON 1600은 36 인치 공정 챔버도 제공합니다. 기계 설계는 강력한 진공 조건으로 증착 재료를 추출 할 수 있습니다. 이를 통해 펌핑 속도가 빨라짐에 따라 증착률 (deposition rate) 과 공정 수익률 (process revield) 을 높일 수 있습니다. 또한 표준 센서 (sensor) 와 컨트롤 (control) 을 사용하여 사용자는 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 고급 자동화는 사용하기 쉬운 소프트웨어 패키지 모음으로 용이합니다. 이 소프트웨어 제품군은 광범위한 데이터 시스템과 호환되며, 완벽한 프로세스 제어를 지원합니다. 전원, 압력, 흐름, 온도, 기타 등의 프로세스 매개변수를 적극적으로 모니터링하고 조절할 수 있습니다. 전반적으로 ATON 1600 은 오늘날의 첨단 기술 애플리케이션을 위해 설계된, 안정적이고 고품질의 스퍼터링 시스템입니다. 이 제품은 다양한 업종의 개발을 위해 다양한 자료를 생산할 수 있으며, 탁월한 균일성, 높은 프로세스 안정성, 향상된 처리량, 프로세스 수익률 등을 필요로 하는 전문가들을 위한 이동 (go-to) 옵션입니다.