판매용 중고 ACCRETECH / TSK AD-2000T #9187561
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판매
ID: 9187561
웨이퍼 크기: 12"
Dicing saw, 12"
Frames and cassettes:
12" Infineon frame C66365-A0034-C068-03-0006
12" Infineon frame C66365-A0034-C068-03-0006
12" ePAK Resources EFF12-300-3,5-EM-59
12" Disco frame DTF2-12-1
12" Frame magazine metal (Infineon standard)
Accuracy:
Kerf off-center: < 5 µm (6σ)
Kerf off-center Y1 to Y2 axis: < 3 µm (6σ)
Z-Axis repeatability: < ± 1µm (6σ)
Non contact set-up repeatability: < σ 2 µm (6σ)
Difference between chuck set-up and non-contact set-up: Max 4 µm (6σ)
Y-Movement (Y-axis for 1st and 2nd spindle):
Closed loop system
Effective stroke of each axis: min 310 mm
Indexing setting range:
0,0001 (0,1µm) to 310 mm for Y-axis and for y-axis.
Cumulative indexing error: < 3µm (6σ) at full range of 310mm (Y1-axis)
Single indexing error: < 2µm (6σ) at full range of 5mm
X-Movement:
Effective cutting stroke: 310mm
Stroke setting range: 1" - 12"
Programmable cutting speed: 0,1 to 300mm/s
Back movement speed 1000mm/s
X-Axis straightness: < 3 µm (6σ) /310 mm
Perpenticularity between X-axis and spindle shaft: < 8 arc sec (6σ) (1 arc sec = σ / 180 x 3600)
Perpenticularity between X- and Y- axis: < 10 arc sec (6σ)
Z-Movement:
Minimum step: 1 µm (6σ)
Effective stroke: > 14 mm (2" Blade)
Z-Axis speed: 50.0 mm/sec
Z-Axis repeatability: σ 1 µm (6σ)
Theta-movement:
Rotation angle: 0° - 320° CW and 60°CCW from initial point
Rotation speed: 45°/sec
Repeatability: ± 2 arc sec (6σ)
Closed loop system
Spindle:
Temperature stable spindle
Output: 1800W
Rotation speed: Up to 60.000 rpm
Dynamic vibration measured on any point of the spindle: Up to 55.000 rpm: < 0.5 µm
Blade connection: ¾"
Si-wafer cleaning system:
Atomizing nozzle at cleaner (N2/DI water)
Rotation range: 100 to 3000 rpm (Programmable)
Time setting: 1 - 999 sec (Programmable)
Stop position accuracy: ±1°
Voltage: 210 VAC ± 6%
3 Phase
50 Hz ± 1%
Compressed air pressure:
0,5 to 0,8 MPa
350 NL/min
N2:
0,5 to 0,8 MPa
200N L/min
Wheel coolant / Spinner cleaning water / Water curtain:
0,2 to 0,4 MPa
14 L/min
Spindle coolant:
0,2 to 0,4 MPa
3,0 L/min
Rinsing water:
0,2 to 0,4 MPa
1,0 L/min
Duct capacity >5 m3/min.
ACCRETECH/TSK AD-2000T Scribing/Dicing Equipment는 반도체 웨이퍼 및 기타 기판을 처리하기위한 고정밀 도구입니다. 이 시스템은 스크리빙 (scribing) 및 다이빙 (dicing) 응용 프로그램 모두에서 해당 재료를 정확하게 절단할 수 있도록 설계되었습니다. TSK AD-2000T는 고속 절삭 헤드, 재료 지원 테이블, 그리고 높은 정확도와 반복 가능한 결과를 제공하는 고급 닫힌 루프 제어 장치 (closed-loop control unit) 를 갖추고 있습니다. 이 기계는 5 축 절삭 헤드로 구성되며, 최대 급지 속도는 4500mm/sec, 선형 수평 절단 속도는 300mm/sec, XYZ 선형 테이블은 최대 900mm 크기의 기판을 수용 할 수 있습니다. 절단 헤드는 기판의 초미세 정밀점, 선, 모양을 정확하고 빠르게 고정하도록 설계되었습니다. 선형 축은 직구동 DC 서보 모터 (direct-drive DC servo motor) 와 고급 동작 제어 도구 (advanced motion control tool) 에 의해 구동되며, 기판에서 가장 작은 기능을 처리 할 때에도 높은 정확도, 반복 가능성 및 속도를 제공합니다. ACCRETECH AD-2000T는 또한 재료의 정확한 스크리빙 및 다이빙을 보장하는 닫힌 루프 제어 모델을 갖추고 있습니다. 이 장비는 다이아몬드 스크리빙 블레이드 (diamond scribing blade), 카바이드 블레이드 (carbide blade), 레이저 절단 헤드 등 다양한 유형의 블레이드와 함께 사용할 수 있습니다. 또한, AD-2000T에는 옵션 비전 (vision) 과 이미지 처리 시스템 (image processing system) 이 장착되어 오류 수정 및 프로세스 기능이 향상되었습니다. ACCRETECH/TSK AD-2000T는 또한 쉽고 반복 가능한 부품 프로그래밍을위한 고급 소프트웨어 도구 모음을 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 2D 및 3D 드로잉, 편집, 중첩 및 3축 그래픽 시뮬레이션을 포함한 다양한 CAD/CAM 기능을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 Scribing 및 Dicing 응용 프로그램 모두에서 장치를 빠르고 정확하게 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한 TSK AD-2000T의 닫힌 루프 제어 시스템 (closed-loop control machine) 은 안전한 작업 환경과 사용자의 프로세스에 대한 완벽한 통합을 보장합니다. 이렇게 하면 프로세스의 성능 및 반복 성능이 향상됩니다. 고급 하드웨어와 소프트웨어를 결합한 ACCRETECH AD-2000T (AD-2000T) 는 스크리빙 (Scribing) 및 다이빙 (Dicing) 응용 프로그램 모두에서 기판 처리에 효율적이고 안정적인 도구를 제공합니다.
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