판매용 중고 MATTSON 2900 #9157957

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MATTSON 2900
판매
ID: 9157957
웨이퍼 크기: 6"
Bump reflow oven, 6".
MATTSON 2900은 다양한 반도체 어플리케이션에 고품질 어닐링 (annealing), 확산 (diffusion) 및 드라이브 인 (drive-in) 프로세싱을 제공하도록 설계된 고급 고성능 고속 열 프로세서입니다. 프로세서는 Rapid Thermal Processing (RPT) 기술을 사용하는데, 이 기술은 여러 가열된 Susceptor Plate을 사용하여 단단히 제어되는 온도 프로파일을 유지하면서 빠르게 가열하고 기판을 냉각시킵니다. 이 장비는 다중 영역 (multi-zone), 구성 가능한 온도 서셉터 (susceptor) 로 설계되어 전체 기판에 균일 한 가열과 냉각을 제공하여 열 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 고정밀 온도 관리 외에도 2900 은 내장 프로세스 제어를 통해 어닐링 (annealing) 및 확산 (diffusion) 과정에서 온도를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세서가 온도 (temperature) 를 지속적으로 모니터링하고 조정하여 프로세스 전반에 걸쳐 정합성 보장 (consistent set) 지점을 만들 수 있습니다. 이 시스템은 또한 자동 튜닝 (automatic tuning) 및 통합 진단 (integrated diagnostics) 과 같은 기능을 제공하여 안정적인 처리를 유지합니다. 이렇게 하면 프로세서가 안정적이고 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. MATTSON 2900에는 컴퓨터 제어 작동 장치 (computer-controlled operation unit) 도 있어 출력 전력, 난방 속도, 냉각 속도, 최대 기판 온도 등의 작동 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 기계는 온도 균일 모니터링 (temperity monitoring) 을 특징으로하며, 사용자가 기판 전체에서 최대 균일 성을 조정할 수 있습니다. 이 프로세서는 또한 데이터 수집 및 분석을 위한 디지털 I/O 인터페이스 (digital I/O interface) 와 통합되어 데이터를 기록하고 처리 결과를 모니터링할 수 있습니다. 2900은 고정밀 어닐링, 확산 및 드라이브 인 처리에 완벽한 선택입니다. 고급 RPT 기술, 프로세스 제어, 탁월한 균일성 모니터링 기능을 갖춘 이 툴은 탁월한 성능을 제공합니다. 이 프로세서는 산업용 PC/104 폼 팩터로 제조되며, 모든 사용자 요구 사항에 맞게 다양한 사용자 정의 (customization) 옵션을 제공합니다.
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