판매용 중고 VARIAN XM 90 #9077097

VARIAN XM 90은 박막 재료를 ANGSTROM 이하의 수준으로 증착하도록 설계된 정밀 스퍼터링 장비입니다. 반도체 처리 (semiconductor processing) 와 도량형 응용프로그램 (metrology application) 을 위한 박막 제작을 위한 다용도와 효율성이 높은 플랫폼이다. VARIAN XM90 시스템은 회전 수냉식 표적 (roting water-cooled target) 과 가스 지속 및 dc/rf 소스를 포함한 일련의 다양한 스퍼터링 소스를 사용하며, 모두 개별적으로 제어하여 다양한 증착 가능성을 제공 할 수 있습니다. XM 90은 컨트롤러 장치로 구성되며, IO 및 사용자 인터페이스가 여러 개 있어 쉽게 작동할 수 있습니다. 컨트롤러를 통해 사용자는 대상 회전 속도 (Target Rotation Speed) 및 챔버 압력 (Chamber Pressure) 과 같은 매개변수를 설정할 수 있으며, 박막 및 기판 특성에 대한 피드백을 제공할 수 있습니다. 또한 XM90에는 전력, 온도, 부분 압력을 모니터링하는 센서, 부품이 포함되어 있어 정밀한 증착 조절이 가능합니다. VARIAN XM 90은 가스 입구 및 배기 장치를 통합하여 깨끗하고 오염 없는 작동을 유지합니다. 또한 "프로그램 '가능" 스로틀링' 기계 를 포함 하여 약실 내 의 일정한 압력 을 유지 하고 반응물 "가스 '의 분포 를 조절 할 수 있다. VARIAN XM90은 -60 ° C ~ + 300 ° C 범위의 온도 내에서 작동하도록 설계되었으며, 다양한 특성을 가진 재료를 증착 할 수 있습니다. XM 90은 사용자의 원하는 박막 증착 요구 사항에 따라 여러 가지 구성이 제공됩니다. 로터리 및 평면 표적 시스템뿐만 아니라 금속, 산화물, 다이아몬드 같은 탄소, 유전체와 같은 다양한 표적 물질을 지원합니다. 여러 레이어를 동시에 배치할 수 있도록 공구를 구성할 수도 있습니다. 즉, 이 공구는 여러 레이어를 동시에 배치할 수 있도록 구성할 수도 있습니다. 전반적으로, XM90은 ANGSTROM 이하의 정밀도로 박막을 증착 할 수있는 견고하고 안정적인 스퍼터링 자산입니다. 다재다능하고 효율적인 설계로 박막 증착 (Thin Film Deposition) 과 손쉬운 작동 및 유지 보수가 가능합니다. 여러 레이어 (layer) 의 재료를 동시에 배치하고 다양한 프로세스 매개변수를 배치하는 기능을 갖춘 VARIAN XM 90 (VARIAN XM 90) 은 박막 제작을 위한 강력한 도구입니다.