판매용 중고 ULVAC Entron T5 #9011097

ULVAC Entron T5는 박막의 효율적인 증착을 위해 설계된 강력하고 효율적인 RF 스퍼터링 장비입니다. 시스템의 생산성, 수명 및 성능을 높이는 데 도움이됩니다. 엔트론 T5 (Entron T5) 는 5.7kW 전원 공급 장치를 갖춘 컴팩트한 구성과 5축 모션 제어 기능으로, 서로 다른 재료의 정확하고, 빠르고, 반복 가능한 증착을 가능하게합니다. 이 장치는 최대 정밀도와 고출력 RF 스퍼터링을 위해 설계되었습니다. 전원 및 균일성을 정확하게 제어하기 위해 자동 튜닝 (auto-tuning) 과 토크 제어 (torque control) 를 통해 drift setup 및 control rapid start-up을 내장하고 제어합니다. 이 RF 스퍼터링 머신에는 최대 600 리터/분의 진공 펌핑 속도를 가진 최대 4 개의 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 이 도구는 기판의 로드 및 언로드에도 유연성을 제공합니다. 프로그래밍 가능한 공정 레시피와 8 개의 밴드 저손실 필터링이있는 가스 제어 모듈이 있습니다. ULVAC Entron T5는 반도체, LED, 태양 전지 및 광전자 산업에서 사용하기에 이상적입니다. 그것 은 또한 여러 가지 재료 의 제조 를 위한 "마스크 '의 준비, 그리고 박막 증착 에 사용 될 수 있다. 엔트론 T5 (Entron T5) 는 안정적이고 견고한 자산으로, 반복 가능하고 정확한 증착을 위해 설계되었으며 광범위한 프로세스 기능을 자랑합니다. 또한 실시간으로 결과를 모니터링하는 멀티 트랙 디스플레이 (Multi-Track Display) 와 프로세스 레시피 모니터링, 오류 진단, 작업 제어를 위한 고급 소프트웨어가 함께 제공됩니다. 마지막으로, ULVAC Entron T5에는 소프트 키보드 제어 패드와 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 있어 사용자가 쉽게 프로세스에 액세스하고 관리할 수 있습니다.