판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 #152911

NOVELLUS CONCEPT 2 Reactor는 고급 반도체 장치 제조를위한 고급 플라즈마 에치 장비입니다. 이 시스템은 다양한 에치 (etch) 프로세스를 제공하여 다양한 재료를 가져옵니다. 기존 에치 시스템에 비해 프로세스 제어 및 균일성이 향상되었습니다. CONCEPT 2 원자로 (CONCEPT 2 Reactor) 는 다기능 원자로로, 다양한 가스로 다양한 기능을 식각 할 수 있습니다. 여기에는 프로세스를 자동으로 최적화하는 IPC (Intelligent Process Control) 가 통합되어 있으며, 에치 화학과 기판 온도를 동시에 모니터링합니다. 고급 전기 관용 기능은 각 레시피 설정 후 균일성을 복원합니다. 또한, 대용량 기판 처리 장치는 처리량을 높이고 레시피 전송 시간을 향상시킵니다. 원자로의 비 연마 공정 머신 (non-abrasive process machine) 은 또한 에칭 챔버 벽의 마모를 줄여 더 균일 한 에치 프로파일을 생성한다. 원자로의 다른 특징으로는 실시간 가스 모니터 (real-time gas monitor) 가 있는데, 이를 통해 사용자는 프로세스 가스를 분석하고 모든 etch 프로세스 문제를 신속하게 해결할 수 있습니다. 또한, 고정밀 석영 플라즈마 소스는 웨이퍼 크기에 관계없이 모든 기판에서 균질 한 에칭을 보장합니다. 설계 내에서 결함이 계속 표시되면 자동 끝점 제어 (automatic end point control) 피쳐가 etch 프로세스를 중지합니다. 이것은 기능 붕괴와 침식의 위험을 줄이는 데 도움이됩니다. 마지막으로, NOVELLUS CONCEPT 2 Reactor 내에서 제공되는 고급 에치 레시피는 에치 프로세스의 전체 품질을 더욱 향상시킵니다. 고객의 원하는 결과에 따라 정확한 매개변수를 사용함으로써, 매우 깨끗하고 균일 한 (clean) 기능을 구현할 수 있습니다. IPC 라이브러리는 레시피 (recipe) 와 프로세스 변수 (process variable) 를 저장하는 데 사용할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 에칭 프로파일을 신속하게 복제할 수 있습니다. 결론적으로, CONCEPT 2 Reactor는 향상된 자산 제어, 균일성 및 처리량을 제공하는 최첨단 에칭 도구입니다. 고급 기능은 고급 반도체 장치에 이상적인 모델입니다. 정확한 프로세스 레시피 및 IPC 라이브러리를 통해 NOVELLUS CONCEPT 2 Reactor는 깨끗하고 일관된 에칭 프로세스를 보장합니다.