판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9056591

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 반도체 생산을 위해 특별히 설계된 최첨단 플라즈마 식각 원자로입니다. AMAT P-5000은 이전 모델인 P3000보다 높은 처리량, 빠른 웨이퍼 로딩, 향상된 안전 기능, 더 긴 챔버 수명을 제공합니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 ECR (high optimized electron cyclotron resonance) 또는 ICP (inductively coupled plasma) 소스를 갖춘 고급 플라즈마 식각 원자로로, 중요한 반도체 프로세스에 우수한 에치 레이트와 우수한 프로파일을 제공합니다. 최대 250 nm/min의 에치 레이트 (etch rate) 에 도달하여 효율적인 처리량과 프로세스 주기의 짧은 처리 시간을 허용합니다. P 5000 은 고급 안전 (Safety) 기능과 탁월한 배기 (Exhaust) 시스템으로 설계되어 환경에 대한 업계 최고의 보호 기능을 제공합니다. 건조 펌프 (dry-pumped) 장비는 배기 유출 (efflux) 의 지속적인 청결성을 보장하며 챔버에서 낮은 분수 산소 함량을 허용합니다. 다단계 안전 관리 시스템 (Multi-Level Safety Management System) 을 통해 원자로 시동을 매끄럽고 안전하게 시작할 수 있습니다. 또한, 창문 (Window Door) 에는 저압 플라스마에 실수로 노출되는 것을 방지하는 안전 연동 장치가 있습니다. APPLIED MATERIALS P-5000은 뛰어난 웨이퍼 로딩 및 처리 기능을 제공합니다. 완전 자동화 된 로봇 머신이 특징이며, 빠르고, 안정적이며, 반복 가능한 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능합니다. 로봇 트랜스퍼 암 (robotic transfer arm) 은 프로세스 챔버에 해로운 인간 노출을 제거하며, 고급 컨트롤러는 챔버 내에서 웨이퍼를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 원자로는 고급 재료 및 코팅을 사용하여 더 긴 챔버 수명을 제공하여 견고성을 높이고 유지 관리 요구 사항을 줄입니다. 사용 된 고급 재료 는 침식, 산화, 부식 에 매우 강해서, 믿을 만한 식각 과정 과 긴 서비스 수명 을 보장 한다. 또한, AMAT P 5000에는 고출력 프로세스와 우수한 온도 제어를 지원하는 물 및 질소 제트를 갖춘 고효율 냉각 도구가 포함되어 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000은 반도체 생산을위한 다용도 플라즈마 식각 원자로이며, 우수한 안전 기능, 최적화 된 웨이퍼 로딩 및 처리, 더 긴 챔버 수명을 통해 설계되었습니다. 즉, 높은 처리량과 빠른 프로세스 주기 (process cycle) 를 제공하여 최신 운영 요구 사항을 완벽하게 충족하는 솔루션입니다.