판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9193775

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactor는 고급 재료의 고성능 공정 화학 및 물리적 증기 증착 (PVD) 을 위해 설계되었습니다. DxZ (DxZ) 는 고급 필름 구조의 빠르고 안정적인 생산을 위해 설계된 완전 자동화된 고정밀 공정 도구입니다. 이 제품은 고도의 가동 시간 (up-time) 으로 설계되었으며, 가장 까다로운 환경, 운영 및 프로세스 조건을 충족할 수 있는 자격을 갖추고 있습니다. DxZ 원자로에는 정밀한 프로세스 제어가 가능한 고급 MFC Mass Flow 컨트롤러가 장착되어 있으며 고유한 "zone-by-zone" 제어 장비를 갖추고 있습니다. 이 기능은 원자로 부피 전체에 걸쳐 반응물 가스 농도의 확산을 조절하고 공정 드리프트 (process drift) 의 위험을 줄이는 데 도움이됩니다. 또한, DxZ 에는 대용량 멀티 존 (multi-zone) 가스 시스템이 있어 프로세스 반복성을 향상시키고 드리프트 위험을 줄일 수 있습니다. PCPS (Process Cladding Plasma Source) 는 고효율과 공정 균일성으로 처리 챔버에 균일 한 ICP (Inductively Coupled Plasma) 입력을 제공합니다. PCPS는 스마트 전원 공급 장치와 함께 작동하여 맥박 피크 (pulse-peak) 안정성과 부드러운 플라즈마 프로파일을 통해 프로세스 안정성과 반복 가능성을 최적화합니다. DxZ 원자로 (DxZ Reactor) 는 청소실 환경에서 강력한 작동을 위해 설계되었으며, 최신 Cleanroom 호환 자동화 및 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 완전 자동 로드 잠금 장치 (Fully Automatic Load Lock Unit) 는 최소한의 프로세스 중단을 위해 설계되었으며 오염을 줄이기 위해 램프 조명 인테리어가 장착되어 있습니다. DxZ 는 강력한 추적 능력 (Traceability) 및 프로세스 기록 (Process History) 을 위해 정확한 프로세스 정보를 추적 및 문서화하는 고급 로드 기록 로깅 기능을 갖추고 있습니다. 특화된 환경 제어 머신은 신뢰할 수 있고, 반복 가능하며, 균일 한 레이어 증착을 위해 클린 룸 호환 분위기를 제공합니다. AMAT Centura DxZ에는 웨이퍼 결합, 단방향 스퍼터 증착, 합금 증착, ALD (Atomic Layer Deposition) 및 IPVD (Inner Plasma Vapor Deposition) 를 포함한 다양한 고급 프로세스 기능이 있습니다. 이 도구는 다양한 특수 재료를 처리할 수 있어 복잡한 고성능 (HPD) 장치를 제작하는 데 적합합니다. 또한 DxZ 는 유연한 운영 모드 (Operations Mode) 를 가지고 있으므로 최상의 성능 결과를 얻기 위해 프로세스 매개변수를 사용자 정의할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactor는 다양한 고급 재료의 고성능, 고효율 처리를 위해 설계되었습니다. 포괄적인 안전 (Safety) 및 프로세스 제어 (Process Control) 툴을 통해 안정적인 프로세스 성능을 보장합니다. DxZ 는 고도로 특화된 재료를 처리하기 위한 강력한 툴로서, 고급 제조 (advanced manufacturing) 애플리케이션을 위한 최적의 솔루션입니다.