판매용 중고 AIXTRON Crius 31x2" #9186421

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제조사
AIXTRON
모델
Crius 31x2"
ID: 9186421
빈티지: 2009
MOCVD System 2009 vintage.
AIXTRON Crius 31x2는 특히 초전도체, 광학 장비 및 기타 고급 재료의 생산을 위해 설계된 고효율 플라즈마 기반 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 원자로는 독일 기반 CVD 기술 제공 업체 인 AIXTRON (AIXTRON) 에서 제조하며, 독일과 중국에서 생산이 이루어집니다. AIXTRON Crius 31x2는 증착 장비 (RDS), HVP (High Vacuum Pressure) 챔버, GDS (Gas Delivery System) 및 STS (Substrate Transfer Unit) 와 같은 주요 구성 요소로 구성됩니다. 기계는 기판에서 코팅의 고정밀 증착 및 처리를 허용합니다. 플라즈마 챔버 (Plasma Chamber) 는 신뢰성이 높으며 물질의 증착을위한 최적의 기판 온도, 가스 흐름 및 압력을 유지할 수 있습니다. 높은 진공압과 낮은 "가스 '소비량 은 공정 안정성 을 향상 시키는 한편, 기질 온도 는 필요 한 바 와 같이 끊임없이" 모니터' 되고 재조정 된다. AIXTRON Crius 31x2에는 PCS (Computer-Control Process Control Tool) 및 UI (User Interface) 와 같은 지원 시스템도 있습니다. PCS 및 UI 는 사용자가 프로세스를 제어하고 안전한 작업 환경을 구축할 수 있도록 지원합니다. AIXTRON Crius 31x2 (AIXTRON Crius 31x2) 자산은 다양한 레이어 두께로 다양한 재료를 처리할 수 있으며, 프로세스 간에 몇 분 안에 전환할 수 있습니다. AIXTRON Crius 31x2는 에너지 사용에서 매우 효율적이며, 에너지 비용과 재료 낭비를 모두 줄입니다. 원자로의 동적 모델은 생산 프로세스를 최적화하고 총 주기 시간 (total cycle time) 을 줄이기 위해 설계되었습니다. AIXTRON Crius 31x2는 또한 안전 (Safety) 을 최우선으로 설계했으며, 연동 도어, 증착 모니터링을위한 압력 및 온도 센서, 경고 표시등 및 화재 감지 장비와 같은 안전 시스템이 특징입니다. 전반적으로 AIXTRON Crius 31x2는 크기가 작고 품질이 높은 복잡한 재료 구조를 생산하기위한 효율적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 원자로 (Reactor) 는 고급 재료 처리를 위한 안전하고 생산적인 환경을 제공하며, 높은 처리량 (throughput) 을 제공하여 주기 시간을 단축하고 생산성을 최적화합니다.
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