판매용 중고 AIXTRON Crius 31x2" #9186414

AIXTRON Crius 31x2는 수정 성장 응용 프로그램을 위해 설계된 차세대 고출력 원자로입니다. 결정 성장에 2 구역 도가니 가열 공정을 사용하는 다운 스트림 플라텐, 수평 Czochralski 형 원자로입니다. 이 원자로는 피로미터 제어 난방 프로파일을 사용하여 660 ~ 2400 ° C의 용광로 온도를 조절합니다. 이것 은 "반도체 '와 광학 재료 를 포함 한 여러 가지 물질 에 대한 정확 한 온도 조절 을 제공 한다. 크리우스 (Crius) 원자로에는 가스 입구 시스템이 장착되어 있으며, 다양한 비활성 또는 작동 가스를 쉽게 지원할 수 있습니다. 이 시스템은 필요에 따라 용광로 내부의 결정을 산화하거나 얻을 수 있습니다. 그 에 더하여, 원자로 에는 조종 된 대기 와 질소 제거 기능 이 있어, 어떤 성장 환경 에도 적합 하다. 그렇다. 원자로에는 SCR 제어 전원 공급 장치가 포함되어 있습니다. SCR 제어 전원 공급 장치는 고주파 성능, 고조파 왜곡, 파급 및 입력 전압 요동 감소, 유효 전원 공급 장치 유지 (세트 전압의 0.5%) 를 제공합니다. 원자로는 강철 (Steel) 과 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 을 포함한 모든 합금 재료로 만들어졌으며 서비스 수명을 늘리는 최소화 된 열 응력으로 설계되었습니다. 크리 우스 (Crius) 원자로는 열 드리프트가 매우 낮고 안정성이 뛰어나 저온 조절 응용이 가능합니다. 또한, 크리우스 31x2 (Crius 31x2) 는 액세스 포트와 데이터 로깅 기능을 모니터링하여 현장 가스 분석기, 열 이미징 시스템, 기타 프로세스 모니터링 도구 등 다양한 프로세스 툴을 손쉽게 통합할 수 있는 모듈식 설계를 제공합니다. 이 원자로는 정확한 온도 프로파일을 유지하기 위해 프로그램 가능한 램프 레이트 (ramp rate) 및 자동 피크 온도 조정 (automatic peak temperature adjustment) 기능을 가지고 있으며, 뛰어난 균일성과 균일성을 통해 결정 성장을 보장합니다. 크리우스 31x2 (Crius 31x2) 는 물질적 처리량이 높은 넓은 챔버 (chamber) 크기를 갖추고 있어 고출력 어플리케이션에 적합합니다. 원자로는 물질 적재 또는 가스 흐름을 변경할 때에도 ± 3 ° C 및 ± 0.2 ° C 온도 안정성의 챔버 온도 균일성을 포함합니다. 신뢰할 수 있고, 효율적이며, 사용자 친화적이며, 안전한 결정적 성장 환경을 제공합니다.