판매용 중고 AIXTRON 2800 G4 HT #9195750

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제조사
AIXTRON
모델
2800 G4 HT
ID: 9195750
빈티지: 2007
MOCVD System 42"x 2", (6) Satellite Loaded for each run: 7"x 2" per satellite Gas lines: 3 NH3, 1 SiH4 LAUDA: RM 25 S/G, RM 6 S/K EPISON4 Installed MO Lines: TMG TMA (2) Cp2Mg (2) Indium (2) TEG MO Materials: TMG TMA Mg In TEG SiH4 NH3 Measure the reflectance & temperature: EPITUNE III Process pump: EBARA A25 WKL230 Chiller included External scrubber HORIBA STEC HITEC Gas: GaN 2007 vintage.
AIXTRON 2800 G4 HT는 고성능 옵토일렉트로닉 구성 요소 및 장치의 빠르고 효율적인 생산을 위해 설계된 반응성 증착 도구입니다. 32 개의 도가니, 4 개의 자기장 및 4 개의 근접 코일을 특징으로하는 4 인치 또는 8 인치 브리지 구조를 기반으로하는 소형 3 축 동종 횡단 (HT) 장비입니다. 이 정교한 증착시스템 (deposition system) 은 모든 전구체에 걸쳐 탁월한 균일성과 안정성을 제공하여 고품질 샘플을 생산하는 데 이상적인 도구입니다. AIXTRON 2800G4 HT의 고급 설계는 매우 얇은 레이어의 증착에 이상적입니다. 이 장치는 증착 과정에서 박막 레이어의 두께가 매우 낮으며, 수십 나노 미터 (nm) 의 얇은 레이어를 증착 할 수 있습니다. 이 박막 증착 프로세스는 또한 강력한 레이어 간 인터페이스 특성을 가진 단일 및 다중 계층 이종 구조를 형성 할 수 있습니다. 2800 G4 HT에 사용되는 고급 컴퓨터 제어 시스템은 최대 32 개의 소스를 동시에 제어 할 수 있으며, 해상도 0.1K로 최대 1300 ° C의 온도를 제공합니다. 이를 통해 증착 프로세스에 대한 고정밀 제어 및 정확성을 보장할 수 있습니다. 온보드 소프트웨어 (Onboard Software) 에는 진행 상황을 모니터링하고 구성을 최적화하는 데 도움이 되는 다양한 고급 프로그램 (Advanced Program) 이 포함되어 있습니다. 원자로 에 포함 된 자기장 에 의하여 기계 의 "디자인 '이 더욱 강화 된다. 이 자동 조정 자기장 (auto-adjusting magnetic field) 은 표면 오염을 방지하고 챔버 내의 입자 분포에 대한 향상된 제어를 제공하는 데 도움이됩니다. 근접 코일 (proximity coil) 은 또한 기질의 균일 한 가열과 냉각을 모두 제공하여 총 증착 시간을 줄이고 기판 처리량을 최대화합니다. 전체적으로 2800G4 HT는 고정밀 광전자 구성 요소 및 장치를 제공 할 수있는 다재다능한 저항 증착 도구입니다. AIXTRON 2800 G4 HT는 고급 설계 기능, 컴퓨터 제어, 우수한 계층 간 균일성을 결합하여 효율적이고 균일한 증착 프로세스에 이상적인 도구입니다.
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