판매용 중고 AIXTRON AIX 2400/2600 G3 #9029074

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ID: 9029074
빈티지: 2001
MOCVD system LED Chip 2001 vintage.
AIXTRON AIX 2400/2600 G3는 증기 증착을 정확하게 제어하도록 설계된 반도체 증착 원자로입니다. 원자로는 화학 증발 (CVD), 저압 CVD (LPCVD), 원자층 증착 (ALD), 물리적 증착 (PVD), 마그네트론 스퍼터링 및 다이아몬드 증착과 같은 광범위한 증착 과정을 제공합니다. AIXTRON AIX 2400/2600 G3 원자로는 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 일련의 모듈 식 구성 요소로 제작되었습니다. 고성능 프로세싱, 빠른 챔버 사이클 시간, 빠른 펌프 다운 시간, 저압 (저압) 및 온도 변화를 통한 엄격한 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 장비에는 정확한 동작 제어 전사 로봇 (motion-controlled transcription robot) 이 장착되어 있어 증착율의 온도와 균일성을 보장합니다. "로봇 '은 여러 가지" 응용프로그램' 에 맞도록 여러 가지 기판 모양 과 크기 로 구성 할 수 있다. AIX 2400/2600 G3 원자로에는 증착 공정을 정확하게 제어 할 수있는 고급 모션 제어 시스템 (Advanced Motion Control System) 이 장착되어 있습니다. 이 장치는 fieldbus 네트워크, 여러 개의 모션 축 및 증착 공정을 위해 특별히 개발 된 지능형 소프트웨어 머신 (Intelligent Software Machine) 으로 구성됩니다. 이 도구를 사용하면 강착 속도, 온도, 압력 및 기타 강착 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. AIX 2400/2600 G3 원자로에는 정확한 프로세스 모니터링이 가능한 센서 클러스터가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 매개변수를 실시간으로 분석할 수 있습니다. 즉, 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. AIXTRON AIX 2400/2600 G3는 작동 중 안전성과 안정성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 원자로 는 불 이나 "가스 '누출 의 위험 이 매우 낮게 작동 하도록 설계 되었다. 또한, 원자로에는 이중 단계 압력 에셋 (dual-stage pressure asset) 이 장착되어 있어 공정 매개변수의 변화에 대한 빠른 반응이 가능하여 모델에 대한 잠재적 인 손상을 방지합니다. 마지막으로, AIXTRON AIX 2400/2600 G3 원자로는 프로세스 관리에 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 모듈식 설계를 통해 다양한 프로세스 레시피, 확장 가능한 설계, 사용자 지정 프로세스 매개변수 (customized process parameter) 를 사용할 수 있으며, 이를 통해 다양한 맞춤형 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 즉, 신속한 프로세스 최적화 및 개발이 가능하므로 사용자가 프로세스를 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다.
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