판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SA0150LP #181495

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TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SA0150LP
판매
ID: 181495
웨이퍼 크기: 6"
Copper annealing oven system, 6" Currently warehoused.
TEL WAVERMASTERS TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SA0150LP는 TSV (through-silicon) 제조 및 반도체 프로세싱의 다른 복잡한 응용 분야에 사용되는 빠른 열 프로세서입니다. 타이트 메탈 라인의 어닐링 (annealing) 및 빠른 열 어닐링 (RTA) 에 사용되며, 매우 얇은 상호 연결을 생성하고 제품 표면에 전략적으로 배포합니다. 이 프로세서는 TSV 레이아웃 (layout) 을 수정하고 전체 웨이퍼 (wafer) 에 걸쳐 열을 균일하게 적용 할 수 있으므로 가장 고급 집적 회로 (integrated circuit) 컴포넌트를 생성하는 데 필수적입니다. 사양 측면에서 WAFERMASTERS WAVERMASTERS TEL SA0150LP 고속 열 프로세서는 처리량을 유연하고 최적화 할 수있는 오픈 플랫폼 아키텍처를 갖추고 있습니다. 2 분 이내에 최대 1,000 ° C의 300mm (12 인치) 웨이퍼 기판을 가열 할 수있는 2 개의 독립적으로 제어 된 가열 스테이지가 장착되어 있습니다. +/-2 ° C의 웨이퍼 온도 정확도는 90 초 이내에 달성 할 수 있습니다. 그것 은 또한 "와퍼 '표면 의 섬세 한 구조 가 손상 되지 않도록, 작동 온도 를 최적 범위 내 에서 유지 하기 위하여 냉각 속도 를 최대화 하도록 설계 되었다. 이 디바이스를 사용하면 필요한 프로세스에 따라 시간당 최대 250 개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 특히 금속 (metal), 유전체 (dielectric), 금속 간 (intermetallics) 과 같은 고급 공정 요구 사항에 적합합니다. 사용자는 최대 16 개의 고정밀 가스 전달 지점 (High Precision Gas Delivery Point) 에 액세스 할 수 있으므로 광범위한 공정 기술에 대한 화학 물질을 정확하게 적용 할 수 있습니다. 도쿄 전자 웨이버마스터 (TOKYO ELECTRON WAVERMASTERS) WAFERMASTERS SA0150LP 고속 열 프로세서에는 다양한 안전 및 보호 기능이 장착되어 있습니다. 가공하기 전에 모든 안전 조건이 충족되도록 하는 여러 계층 (Layer of Interlock) 을 사용할 수 있습니다. 또한, 소프트웨어는 웨이퍼가 최적의 온도 매개변수를 초과하지 않도록 설계되어 과잉 처리 (over-processing), 오류 (error) 및 기타 위험을 방지합니다. TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS WAVERMASTERS SA0150LP는 모두 고급적이고 신뢰할 수있는 빠른 열 프로세서로, 가장 복잡한 작업을 빠르고 안전하게 수행 할 수 있습니다. 이 제품은 정확도, 속도, 처리량을 제공하여 하이엔드 반도체 처리 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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