판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 2900 #9103114

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STEAG / MATTSON / AST 2900
판매
ID: 9103114
웨이퍼 크기: 8"
Rapid thermal processing (RTP) system, 8" Single chamber (2) Loaders (2) Unloaders.
STEAG/MATTSON/AST 2900은 산업 및 연구 등급 응용 프로그램을 위해 설계된 고속, 비용 효율적인 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 고주파, 고효율 열 처리 장비를 사용하여 다양한 온도 수준에서 빠르고, 정밀한 온도 제어를 가능하게 합니다. 이것은 빠른 열 어닐링, 빠른 열 확산, 빠른 열 산화 (thermal oxidation) 를 포함한 응용 분야에 이상적입니다. AST 2900은 가열 석영 목표와 미세하게 제어 된 열 적외선 방사선 원을 포함하는 가열 된 챔버 (heated chamber) 로 구성됩니다. 이 적외선 복사원은 표적을 2000 ° C의 온도까지 정확하게 가열하는 데 사용됩니다. 고속 열 처리 시스템 (Fast Thermal Processing System) 은 목표를 가열하고, 미리 프로그래밍된 시간 동안 거주하고, 몇 초 안에 다시 냉각시켜, 빠른 열 처리를 가능하게합니다. 또한 전체 샘플 크기에 대한 탁월한 균일성 제어 (unifority control) 를 제공하여 표적에 대한 열 분배를 허용합니다. 샘플 온도를 정확하게 제어하기 위해 STEAG 2900에는 닫힌 루프 PID 온도 제어 장치가 있습니다. 이 기계는 열전대 기반 피드백 도구를 사용하여 샘플 온도를 모니터링하고 제어합니다. 또한 강력한 임베디드 (Embedded) 가열 전원 컨트롤러가 포함되어 있어 온도와 가열 속도를 정확하게 제어할 수 있습니다. MATTSON 2900은 또한 안전한 작동을 위해 광범위한 안전 기능을 자랑합니다. 시밍 챔버는 최대 안전을 위해 이중 벽 구조로 설계되었습니다. 냉각 공기의 적극적인 순환과 온도 조절 고장 (Emergency Stop Loop) 이 포함됩니다. 뿐 만 아니라, 봄 에 적재 된 힌지 (hinge) 로 설계 된 챔버 도어 (chamber door) 는 비상시 빠르고 쉽게 열릴 수 있다. 2900은 빠른 열 처리 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다. 비용 효율적이고, 빠르고, 정확한 열 처리는 산업 및 연구 등급 (research-grade) 목적에 적합합니다. 광범위한 안전 (Safety) 기능과 사용이 간편한 제어 시스템 (Control System) 을 통해 많은 산업 및 연구 분야에서 신뢰할 수 있는 옵션을 제공합니다.
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