판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9137937

이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.

ID: 9137937
웨이퍼 크기: 8"
Rapid thermal annealers, 8" SMIF.
STEAG/MATTSON/AST 2800은 반도체 웨이퍼의 빠르고 균일 한 난방 및 냉각을 위해 설계된 RTP (Rapid Thermal Processor) 입니다. 이 장비는 다양한 온도 감지 및 제어 (temperature sensing and control operation) 작업을 위해 매우 다양하고 효과적인 열 도구이므로 연구/생산 응용 분야에 이상적입니다. AST 2800은 챔버 당 25cm x 25cm 공정 면적의 안정적이고 정확한 듀얼 챔버 디자인을 갖추고 있습니다. 이러한 사용 가능한 공간 확장을 통해 사용자는 여러 기판을 쌓아 올릴 수 있으며, 처리량 및 생산성을 크게 높일 수 있습니다. 또한, 방호적 인 비활성 "가스 '흐름" 시스템' 이 공정 영역 을 둘러싸고 반도체 물질 의 오염 을 방지 한다. 높은 처리량은 짧은 열 주기 시간 (thermal cycle time) 에 의해 더욱 향상되며, 일반적으로 1 초 동안 최대 1200례의 온도에 도달 할 수 있습니다. 매우 정확한 온도 및 공정 제어는 STEAG AST2800의 장점입니다. 이는 설정 지점, 유지 시간, 램프 속도 및 최대 온도를 조작 할 수있는 고급 PID 기반 제어 장치 때문에 가능합니다. 이러한 매개변수 외에도, 기계에는 프로세스 응용 프로그램 최적화를 위한 고급 저류 (low-flow) 로직이 포함되어 있습니다. 이를 통해 최대 온도 조절 및 공구 정확도를 높일 수 있습니다. 정밀 온도 제어 (precision temperature control) 및 빠른 열 주기 (rapid thermal cycle) 시간은 AST AST2800을 기술적으로 복잡한 하드웨어 및 프로세스 운영에 이상적인 선택으로 만드는 특성입니다. 2800 의 신뢰성, 정확성, 효율성은 미션 크리티컬 프로세스에 이상적인 선택입니다. 흑연 susceptor heating elements 및 proprietary direct-cooling asset는 결함의 가능성을 크게 줄여 더 안정적인 반도체 물질을 만듭니다. 또한 가열 (Heat Up) 프로토콜을 통해 사용자는 자신의 특정 가열 및 냉각 특성을 입력할 수 있으므로 열 사이클링 (Thermal Cycling) 및 균일성 (Unifority) 을 최적화하는 매우 정확한 처리 작업을 수행할 수 있습니다. 결론적으로, MATTSON 2800은 안정적이고, 정확하고, 효율적인 빠른 열 프로세서로, 첨단 프로세스 어플리케이션에 이상적인 도구입니다. 이 모델은 열 사이클링 중 보호를위한 비활성 가스 흐름 장비를 제공하며, 챔버 당 25cm x 25cm 공정 면적의 이중 챔버 (dual chamber) 설계를 통해 처리량을 증가시킵니다. 고급 PID 기반 제어 시스템 (Advanced PID-based control system) 을 사용하면 정확한 제어를 위해 특정 난방 및 냉각 매개변수를 입력할 수 있으며, 독점 방열 프로토콜은 열 사이클링을 최적화합니다. 이러한 모든 기능이 결합되어 MATTSON AST2800은 신뢰성 있고 정확한 열 처리를 위해 필수 불가결한 도구입니다.
아직 리뷰가 없습니다