판매용 중고 MPT RTP-600XP #9027274

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ID: 9027274
웨이퍼 크기: 2"-6"
빈티지: 2004
Rapid thermal processor, 2"-6" Applications: RTA, Annealing, Implant Activation, Oxidation & Reflow Thermal processing: Si, Ge, Si/Ge, GaAs, InP and Other semiconductor materials Temperature range rate: 250-1300°C Temperature ramp rate: 1-200°C/sec Quartz process chamber, Capable of handling inert and Reactive gases Dual color pyrometer with Auto-Calibration feature (2) MFC Controlled gas channels; Upgradeable to 6 channels Integrated Windows NT based pentium processor Software revision 3.10 208 V, 60 Hz, 3-Ph, 80 A 2004 vintage.
MPT RTP-600XP는 다양한 업계의 다양한 열 프로세스를 처리하도록 설계된 Rapid Thermal Processor (RTP) 입니다. 이 장비는 직접 열 커플 링 시스템을 사용하여 어닐링 (annealing), 산화 (oxidation), 질화 (nitridation) 및 확산 (diffusion) 과 같은 고속 프로세스에 대한 정확한 온도 조절 및 빠른 가열을 가능하게합니다. RTP-600XP 장치의 챔버 크기는 476x406x127mm이며, 이는 더 큰 처리 프로젝트에 적합합니다. 무겁고 내구성이 뛰어난 챔버 구조는 최대 신뢰성과 균일 한 난방을 제공합니다. 이 기계에는 진공 기능도 있으며, 이는 외부 가스 처리 (out-gassing) 와 같은 특수 프로세스에 이상적입니다. MPT RTP-600XP에는 열 질량이 낮은 열 수송 도구가 있으며, 특별히 설계된 TPG (Thermal Profile Generator) 는 독립적 인 시간 및 온도 곡선 제어를 특징으로합니다. 이 자산의 독특한 디자인은 최소 왜곡으로 최고의 열 결과를 보장합니다. 또한 개방형 대기 가열 기능이 있으며, 이를 통해 진공 및 압력 프로세스의 제어 된 조합이 가능합니다. RTP-600XP 모델은 자동 조정 (auto-tune) 과 같은 고급 제어 및 최적화 기능을 갖추고 있어 열 곡선 (thermal curves) 을 미리 프로그래밍하고 나중에 사용할 수 있도록 저장할 수 있습니다. 또한 발열 전 시간 (pre-heat time) 을 정확하게 제어하여 가능한 최고 정밀도를 보장하는 기능도 있습니다. MPT RTP-600XP는 고정밀 온도 센서를 위한 탁월한 장비로, 프로세스 제어가 더욱 향상되었습니다. 균일 하고 깨끗 하며 안정적인 결과를 제공합니다. 다양한 어플리케이션을 처리할 수 있는 RTP-600XP는 효율적이고 안정적인 열 처리 (thermal processing) 를 원하는 다양한 산업에 적합합니다.
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