판매용 중고 AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 #9161356

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ID: 9161356
Rapid thermal processor Temperature sensor: DTC ez-DTC Double O-ring: P/N: 7310-4622-05 Ceramic shield, 8" N2 Curtain Susceptor, 6" Graphite with SIC coating Wafer aligner.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8108은 광범위한 마이크로 일렉트로닉 재료에 대한 고품질 열 처리를 제공하도록 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 최첨단 장비는 제어된 대기에서 기판을 빠르고 정확하게 가열 할 수 있습니다. 이 시스템은 베이스 유닛과 능동적으로 냉각 된 플래튼으로 구성됩니다. 기본 장치에는 히터와 컴퓨터 제어 프로세스 컨트롤러가 있습니다. 프로세스 컨트롤러는 난방 매개 변수를 제어하는 데 사용됩니다. 공정 중 기판에 가해지는 냉각 속도 (cooling rate) 와 압력 (pressure) 을 제어하는 데에도 사용될 수 있다. 능동적으로 냉각된 플래튼에는 온도 조절을위한 열전대 (thermocouple) 와 기질의 클램핑 및 이동을위한 고정밀 공기 베어링 (high-precision air bearing) 세트가 포함됩니다. 이 단위의 온도 범위는 -25 ° C ~ 600 ° C입니다. 기판의 온도 균일성은 +/-7 ° C (+/-7 ° C) 에서 측정되며, 이는 열 처리의 품질을 보장합니다. 균일 한 냉각 메커니즘은 와퍼가 핫스팟 (hot-spot) 이나 손상 (damage) 없이 짝수 속도로 냉각됩니다. 기계는 또한 온도, 램프 속도 (ramp rate), 압력 (pressure) 과 같은 매개변수를 제어하는 방법과 기판의 온도 균일성 및 균일 한 냉각을 모니터링하는 방법을 제공하여 정확하고 반복 가능한 프로세스를 지원합니다. 또한 다른 매개변수 중에서 필름 두께, 크랙 깊이, 굴절률을 측정할 수 있습니다. 이 툴의 분석 및 제어는 사용자 친화적인 인터페이스와 데이터 로깅 (data logging) 기능을 통해 더욱 간편해집니다. 이 자산은 또한 부품과 소모품을 쉽게 구할 수있는 강력한 애프터 세일즈 (after-sales) 서비스 네트워크를 지원합니다. 요약하면, AG ASSOCIATES HEAT PULSE 8108은 효과적인 빠른 열 프로세서로, 고품질 열 처리를 제공할 수 있습니다. 다양한 온도 범위, 정확하고 반복 가능한 프로세스 제어, 사용자 친화적 인터페이스를 제공합니다. 기판의 온도 균일성 (temperature unifority) 과 균일 한 냉각 (uniform cooling) 을 모니터링하는 기능을 통해 결과는 안정적이고 신뢰할 수 있습니다. 판매 후 서비스 네트워크는 많은 응용 프로그램에서 매력적인 선택입니다.
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