판매용 중고 AG ASSOCIATES Heatpulse 610 #9199960

AG ASSOCIATES Heatpulse 610은 빠른 어닐링, 산화, 확산 및 재결정 처리 요구를 제공하는 강력한 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 이 장비는 연구 개발, 생산 및 특성 연구를 위해 설계되었습니다. AG ASSOCIATES HEATPULSE 610의 주요 특징으로는 고온 균일성 및 반복성, 빠른 램프 기능, 소형 디자인의 저열 질량 등이 있습니다. Heatpulse 610은 4 개의 독립적으로 제어되는 히터 요소로 구성된 배치 시스템입니다. 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 최대 온도는 2000oC이며 일반적인 램프 속도는 300K/sec에서 5K/sec입니다. HEATPULSE 610의 고온 균일성은 고급 온도 드리프트 보상 및 수냉식 설계로 인해 발생합니다. 또한, 웨이퍼는 진공 도어를 통해 쉽게 적재 및 언로드할 수 있습니다. AG ASSOCIATES Heatpulse 610에는 다양한 고급 프로세스 제어 기능이 있습니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 갖춘 64 비트 작동 장치가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 실험 조건을 쉽게 설정하고 모니터링 할 수 있습니다. 또한 자동 레시피 작성 및 실행 옵션과 고급 데이터 로깅/분석 (Advanced Data Logging and Analysis) 옵션을 제공합니다. AG ASSOCIATES HEATPULSE 610은 구성 가능성이 높으며 다양한 anneal 및 deposition 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 기계는 빠른 어닐링, 산화, 확산 및 재결정 과정을 할 수 있습니다. 여러 가지 가스 종과 압력 매개변수를위한 가스 전달 도구 (gas delivery tool) 가있는 확산 챔버가 있습니다. 자산에는 소결과 산화물 증착을위한 2 개의 도가니 보트가 있습니다. 전반적으로, AG ASSOCIATES 610은 빠른 램핑, 낮은 열 질량, 고온 균일성, 구성 가능한 프로세스 기능으로 인해 연구 및 생산 요구 사항에 이상적인 빠른 열 프로세서입니다. 직관적인 인터페이스를 통해 사용자는 프로세스를 쉽게 프로그래밍하고 모니터링 할 수 있습니다. 또한 다양한 어닐링, 산화, 확산 및 재결정 과정이 가능합니다. Heatpulse 610은 다양한 연구 개발, 생산 및 특성 연구에 이상적입니다.