판매용 중고 AG ASSOCIATES Heatpulse 410 #9148956
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ID: 9148956
웨이퍼 크기: 2"-4"
Rapid thermal processor, 2"-4"
Quartz process chamber
(21) Tungsten halogen lamps
Closed-loop temperature control
Fast heating and cooling rates
Temperature range: 400-1250° C
Steady-state temperature stability: ± 2° C
Temperature monitoring mechanisms: Extended range pyrometer (ERP)
Heating rate: 1-200° C/sec
Cooling rate: max 150° C/sec
Maximum non-uniformity: ±5°C across a 6″ wafer at 1150°C
Implant: 1E16 50 KeV
Implant uniformity ≤0.3%
Steady state time: 1-9999 sec
Process gases: Optional MFC, Up to 4.
AG ASSOCIATES Heatpulse 410 Rapid Thermal Processor는 집적 회로 및 기타 장치 제작에 사용되는 최첨단 기계입니다. 히트펄스 410 (Heatpulse 410) 은 단단히 통제되고 반복 가능한 환경에서 반도체 기판의 빠르고 안정적인 열 사이클링을 제공하도록 설계되었습니다. AG ASSOCIATES Heatpulse 410의 중심에는 정확하고 빠른 열주기를 제공하도록 설계된 고도의 부식 내성, 고속 마이크로 프로세서가 있습니다. 이 프로세서는 와퍼를 가로지르는 최소 열 그라디언트 (위로 또는 아래로 램프) 를 보장합니다. 이 프로세서는 높은 온도 조절과 뛰어난 사이클 반복성을 달성하도록 설계되었습니다. Heatpulse 410은 신호 간섭으로 인한 열 스트레스를 최소화하기 위해 고급 RF 보호를 통합합니다. 또한 고급 초저전기 노이즈 레벨을 특징으로하여 외부 신호 및 크로스 토크 (crosstalk) 에 대한 잠재적 간섭을 최소화합니다. AG ASSOCIATES Heatpulse 410에는 전용 온도, 펄스 및 챔버 온도 제어 변조기가 장착 된 온보드 터치 스크린 컨트롤 패널이 포함되어 있습니다. 또한 실시간 열 모니터링을 통해 사용자는 온도, 압력, 펄스 너비 (pulse width) 와 같은 개별 웨이퍼 매개변수를 지속적으로 판독할 수 있습니다. Heatpulse 410은 단일 웨이퍼 및 배치 처리를 모두 지원하도록 설계되었습니다. 여기에는 여러 개의 임베디드 열 프로파일 (Embedded Thermal Profile) 이 포함되어 있어 여러 유형의 처리를 위해 시스템을 구성할 수 있습니다. 또한, 기계는 최대 난방 속도, 최대 냉각 속도, 최대 접합 시간 (Boak Time) 과 같은 다양한 열 프로세스 요구 사항을 수용하도록 구성 될 수 있습니다. 안전성 측면에서 AG ASSOCIATES Heatpulse 410은 고온 센서, 고장난 전원 관리 (fail-safe power management) 와 같은 고급 안전 기능으로 구축되어 있어 하드웨어와 소프트웨어 장애로부터 시스템을 보호합니다. 이 기계는 또한 다중점 냉각 시스템 (multi-point cooling system) 을 갖추고 있으며, 비상 사태의 경우 웨이퍼를 식힐 수 있습니다. 전반적으로, 히트펄스 410 (Heatpulse 410) 은 강력한 온도 조절 및 뛰어난 반복성을 제공하도록 설계된 고급적이고 안정적인 빠른 열 프로세서입니다. 고급 마이크로 프로세서, 안정적인 RF 보호 및 실시간 열 모니터링이 특징입니다. 또한 고온 센서, 고장 방지 (fail-safe) 전원 관리, 멀티 포인트 냉각 시스템 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다.
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