판매용 중고 AG ASSOCIATES Heatpulse 610 #9175565

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AG ASSOCIATES Heatpulse 610
판매
ID: 9175565
빈티지: 1997
Rapid Thermal Processing (RTP) system Bench top Single chamber No gas detector Single wafer process Single rotometer controlled gas channel Multistep process cycle capability Quartz tray wafer diameter, 6" Programmable ramp up rates: 10°C-250°C/sec Operating temperature range: 450°C-1250°C Peak temperature: 1,200°C Processing cycle: 1-600 sec PC Controller with flat screen monitor Pyrometer temperature control Thermocouple Input power supply: 208 V, 3 Phase, 60 Hz, 125 A 1997 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 610은 높은 생산 처리량 및 프로세스 균일성을 위해 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 프로세서는 4 구역 온도 제어가있는 연속 진공 밀봉로를 사용하여 샘플을 빠르고 일관되게 처리합니다. 4 구역 제어는 샘플 너비의 정확한 온도 제어를 가능하게하며, 서늘한 열 문제 (cool and over heat issue) 보다 감소합니다. AG ASSOCIATES HEATPULSE 610의 결합 면적은 610 x 485mm이며, 용량은 최대 60 웨이퍼이며, 최대 온도는 1000 ° C입니다. 정밀 히터 요소는 ± 0.5 ° C의 열 안정성을 갖습니다. 가변 속도 가스 흐름 (variable rate gas flow) 은 용광로 공정의 열 환경을 제어하기 위해 사용되며, 모든 웨이퍼에서 균일 한 공정 온도를 보장합니다. Heatpulse 610은 저용해 온도 합금, anneal, 확산, 고온/고열 방출, 산화 및 진공 연금을 포함하여 다양한 공정 레시피를 제공합니다. 또한 변형 결합 및 MEMS와 같은 특수 프로세스를 지원합니다. 모든 프로세스는 온보드 컨트롤러 및 고급 레시피 프로그래밍을 사용하여 제어됩니다. HEATPULSE 610은 4 개의 스크류 액세스 도어와 시청 포트를 갖춘 내구성, 유리 알루미늄 구조입니다. 반도체 또는 마이크로 일렉트로닉스, 태양광, MEMS 및 항공 우주와 같은 산업 환경에 적합합니다. 이 프로세서는 사용자에게 친숙한 기능으로, 직관적인 터치스크린과 실시간 프로세스 모니터링을 제공하는 맞춤형 디스플레이를 갖추고 있습니다. 또한 신뢰할 수있는 프로덕션 출력에 대한 고급 오류 감지 및 예방 기능을 제공합니다. 또한 AG ASSOCIATES Heatpulse 610에는 데이터 분석, 제어 및 모니터링이 간편한 소프트웨어 패키지가 장착되어 있습니다. 이러한 툴은 생산 프로세스의 시간 및 비용 절감 (time-and cost-saving) 을 마케팅하여 더 높은 수익률과 더 빠른 ROI (투자 수익) 를 실현합니다. 안정적인 성능을 보장하기 위해 프로세서는 1년 보증으로 적용됩니다. AG ASSOCIATES HEATPULSE 610은 또한 교육, 기술 지원, 예방 유지 보수 옵션과 같은 서비스를 제공하여 고객이 투자 효과를 극대화하고 프로세서의 가치를 극대화할 수 있도록 지원합니다.
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