판매용 중고 AG ASSOCIATES 4100 #9147789

AG ASSOCIATES 4100 고속 열 프로세서는 고급 반도체 제조를 위해 강력하고 안정적인 도구입니다. 4100 (4100) 은 높은 처리량과 대용량 웨이퍼를 배치 모드에서 신속하게 처리할 수 있는 고급 설계를 제공합니다. 이 장치는 산화, 어닐링, 도펀트 임플란테이션, 질화물 증착 및 빠른 열 처리를 포함한 여러 프로세스를 지원합니다. 이 장치에는 가스-퍼지 시스템 (gas-purge system) 과 다양한 온도 모니터링 센서가 장착되어 있어 프로세스 제어가 정확합니다. AG ASSOCIATES 4100에는 다양한 프로그래밍 가능한 온도 프로파일이 포함 된 통합 마이크로 프로세서 기반 컨트롤러가 있습니다. 이 프로세서는 각 웨이퍼 (wafer) 에 대해 사용자 정의 온도 프로파일을 허용하며, 이는 프로세스 시간과 온도가 균일하게 유지되도록 하여 안정성을 향상시킵니다. 사용자는 조정 가능한 기능을 프로그래밍 할 수도 있습니다. 온도 경사율, 영역 제어 및 공차로. 이 장치에는 한 번에 4 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 회전 챔버가 장착되어 있습니다. 약실 은 여러 가열 영역 과 냉각 영역 사이 로 회전 하고 미끄러지며, 각 "웨이퍼 '에 대해 균일 한 온도 조절 을 한다. 이는 균일 한 난방 및 냉각 속도를 보장하여 웨이퍼 처리량을 증가시킵니다. 자동 "가스 '제거 기능 을 이용 하여" 웨이퍼' 처리 중 의 오염 가능성 을 줄일 수 있다. 퍼지 가스는 외부 탱크에 저장되고 가스 꽃미터로 모니터링됩니다. 4100 (4100) 은 빠른 열 처리 중 효율적인 열 분산을 가능하게하는 세라믹 코어 설계를 특징으로합니다. 이 장치 에는 또한 원하는 냉각률 에 따라 "재킷 '의 온도 를 빨리 떨어뜨리는" 워터 칠러' 가 들어 있다. 이것은 웨이퍼의 균일 한 냉각을 보장하고 작동 동안 +/- 5 ° C의 온도를 유지합니다. AG ASSOCIATES 4100 (AG ASSOCIATES 4100) 에는 고급 모니터 및 제어 시스템이 장착되어 있어 온도를 쉽게 모니터링하고 정확하게 제어할 수 있습니다. @ info: whatsthis 다양한 설계 기능을 갖춘 4100 은 반도체 제작을 위한 효과적이고 안정적인 툴입니다.