판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #160121

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TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7
판매
ID: 160121
빈티지: 1994
(1) coater / (2) developer 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 뛰어난 청결함과 높은 생산성을 제공하는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 특히 photolithography 및 etching 프로세스를 위해 설계되었습니다. 특수 "소프트웨어 '와 강력 한" 레이저' 를 사용 하여 정확 하게 정밀 한 사진 "마스크 '를 만들어 사진 내성 을 정확 하게 조절 한다. 이 장치는 더 큰 기능 크기와 높은 정확도 응용 분야에 이상적입니다. TEL Clean Track Mark 7은 표면에 수용성 정지 레이어를 사용한 다음 고정밀 레이저를 사용하여 사진 마스크를 형성합니다. "레이저 '광선 은 감광 물질 위 에 원하는 크기 와 모양 의" 오프닝' 을 정확 하게 만드는 데 사용 된다. 이 기술을 사용하면 50nm에서 100nm까지의 피쳐 크기와 단단한 공차 피쳐의 정확성을 사용할 수 있습니다. 이 기계는 또한 두꺼운 저항이나 여러 사진 저항을위한 높은 주파수 (frequency) 와 균일 한 에치 레이트 (etch rate) 를 가지고 있습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7에는 사진 마스크 형성의 품질을 모니터링하고 피드백을 제공하여 정확하고 자동 마스크 개발을 허용하는 고급 컨트롤러가 있습니다. 또한 컨트롤러에는 오류가 감지되면 사용자에게 알리는 품질 보증 (Quality Assurance) 기능이 있습니다. 이를 통해 빠르고 정확한 수정 조치를 수행할 수 있습니다. 이 도구는 안정성이 높으며, 중단 없이 지속적으로 실행할 수 있습니다. 또한 자동 클리닝 사이클 (automated cleaning cycle) 을 사용하여 사진 마스크를 정기적으로 청소하고 잔기 (residue) 의 축적을 방지하여 최적의 성능을 막을 수 있습니다. 자산은 또한 전력 소비가 낮고 기판 손상이 낮습니다. 결론적으로, Clean Track Mark 7은 포토 리토 그래피 및 에칭 프로세스를 위해 설계된 정밀 포토 esist 모델입니다. 장비에는 사진 마스크 (Photo Mask) 형성의 품질을 모니터링하고 최적의 프로그래밍에 대한 피드백을 제공하는 고급 컨트롤러 (Advanced Controller) 가 있습니다. 두꺼운 저항이나 여러 사진 저항에 대한 에치 레이트의 빈도와 균일성이 높습니다. 이 시스템에는 자동 클리닝 주기와 낮은 전력 소비량도 있습니다. 이 모든 기능을 통해이 포토 esist 단위는 섬세하거나 높은 정확도 응용에 이상적입니다.
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