판매용 중고 SEMITOOL 270S #151767

SEMITOOL 270S
제조사
SEMITOOL
모델
270S
ID: 151767
웨이퍼 크기: Up to 6"
Spin rinse dryer, up to 6".
SEMITOOL 270S는 매우 정밀한 포토 esist 코팅 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 정교한 자동 포토 esist 스프레이 코터입니다. 모듈식 (Modular) 설계를 통해 유연성을 극대화하여 각기 다른 고객 요구에 맞게 구성할 수 있습니다. SEMITOOL 270-S (SEMITOOL 270-S) 는 균일하고 반복 가능한 필름 두께로 넓은 영역을 코팅하도록 설계되었으며, 동시에 또는 순서대로 최대 4 개의 다른 포토 esist 유형을 수용 할 수 있습니다. 이 장비에는 통합 센서 및 제어 시스템 (Control System) 이 포함되어 있어 작동이 안정적입니다. 270S 포토 esist 스프레이 코터에는 컴퓨터 제어, 멀티 존 (multi-zone) 공정 챔버가 장착되어 있으며, 응용 프로세스 동안 다른 매개변수를 정확하게 제어하도록 조정할 수 있습니다. 챔버에는 동적 압력 센서가 장착 된 컴퓨터 제어 조절 가능한 볼륨 챔버 (volume chamber) 가 있어 두께가 균일합니다. 또한 부피 챔버 (volume chamber) 에는 화학 탱크를 자동으로 보충하고 시간이 지남에 따라 적재 챔버에서 균일 한 저항 농도를 유지하기 위해 자동 리필 시스템이 있습니다. 270-S에는 코팅 배치 사이의 챔버를 청소하기위한 질소 스윕 장치도 포함되어 있습니다. SEMITOOL 270S 포토 esist 스프레이 머신은 고급 서보 제어 스프레이 건 (spray gun) 으로 설계되어 포토 esist 소재의 정확하고 반복 가능한 적용을 가능하게합니다. "노즐 '은 최소 의 산화 와 결함 을 가진 균일 한" 필름' 을 적용 하도록 설계 되었다. 노즐에는 가변 너비 동심원 링에 장착 된 회전 스피너 (rotating spinner) 어셈블리가 있으며, 이는 다양한 선 너비의 균일 한 코팅을 생성하도록 조정 될 수 있습니다. 또한, 이 도구는 다중 노즐 구성을 사용하여 여러 기판을 동시에 처리할 수 있습니다. SEMITOOL 270-S 포토 esist 스프레이 코터는 유연하고 직관적인 프로그래밍을 위해 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스를 제공합니다. 이를 통해 코터의 매개변수, 설정 및 작동을 쉽게 제어 할 수 있습니다. 또한, 자산은 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 기술을 사용하여 기판 전체에 걸쳐 일관된 코팅 패턴을 보장하여 매우 효율적입니다. 마지막으로, 270S는 다운타임을 최소화하고 적절한 운영 및 지속적인 기능을 보장하는 유지 관리 (maintenance) 모드를 갖추고 있습니다.
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