판매용 중고 AIO SF 600 #9139571

AIO SF 600
제조사
AIO
모델
SF 600
ID: 9139571
웨이퍼 크기: 6"
AIO corporation IPA vapor dryer,6".
AIO SF 600은 민감하고 넓은 지역 석판 공정의 개발을 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 양성 (positive) 및 음성 (negative) 포토리스 스트와 함께 사용하기에 적합하여 금속 패턴, 배선 및 사진 에칭 프로세스의 정확한 개발을 가능하게합니다. 이 시스템은 4 개의 고유 한 단위, 개발자, 노출 장치, 린스 장치 및 진공 챔버로 구성됩니다. 개발자는 2 단계 프로세스입니다. 제 1 단계는 포토 esist 용액과 개발자 농축액을 혼합하여 기판에 뿌리는 것을 포함한다. 이것 은 효과적 인 "개발자 '농도 를 만들어 내며, 이것 은 포토레시스트 가 적절 히 개발 되도록 보장 해 준다. 두 번째 단계는 습식 단계 (wetting-out step) 로, 개발자가 기판 위에 균등하고 균질하게 분포되어 있는지 확인해야 합니다. 노출 장치 (Exposure Unit) 는 마스크 (Mask) 를 통해 photoresist에게 필요한 노출을 제공하여 회로를 패턴화하거나 적절한 사진 에칭 프로세스를 적용합니다. 튜닝 가능한 소스와 맞춤형 노출 시간은 정확도가 높은 결과를 위해 짧고 균일 한 노출을 보장합니다. 특별히 설계된 렌즈 장치는 최대 패턴 정의를 위해 균질 한 조명을 제공합니다. 린스 장치 (Rinse Unit) 는 잔기의 터널링 및 축적을 방지하면서 최대 포토 esist 제거를 위해 설계되었습니다. 지능형 컨트롤은 최적의 photoresist 제거를 위해 rinse 시간, 압력 및 온도를 정확하게 조정해야합니다. 이 장치에는 최대 효율과 사용을 위해 재 순환식 린스 워터 머신 (Rinse Water Machine) 이 내장되어 있습니다. 진공실 은 "포토레지스트 '가 개발 과정 전체 에 걸쳐 원하는" 패턴' 영역 에서 흘러나오지 않도록 도와 준다. 내장 조정 가능한 압력 및 가열 도구는 일관되고 정확한 진공 생성 (create of vacuum) 을 보장합니다. 조절 가능한 가열은 광저항 (photoresist) 의 열 흐름을 조정하여 광저항 (photoresist) 이 접착 (adhesion) 이나 다른 물리적 현상에 더 강해지게한다. SF 600은 고도로 발전된 포토레시스트 (photoresist) 에셋으로, 석판 또는 에칭 프로젝트를 완료하는 정확성과 정확도를 제공합니다. 다양한 어플리케이션을 위해 금속 패턴, 배선, 사진 에칭 (photo-etching) 프로세스를 고품질로 개발할 수 있습니다.
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