판매용 중고 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9156022

ID: 9156022
빈티지: 2008
Spin Rinse Dryers (SRD) With SCD-1 controller 2008 vintage.
ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702 Photoresist System은 집적 회로 생산을 위해 설계된 고성능 개발 장치입니다. 이 기계는 특허를받은 스핀 코팅 프로세스를 사용하여 박막 저항 패턴을 만듭니다. 스핀 코팅 공정 (spin coating process) 은 광저항을 포함하여 다양한 재료로 기판을 코팅하는 매우 효율적인 수단입니다. 이 과정에서는 광저항 물질을 적용한 다음, 건조 전에 습식 저항을 광처리하는 동안 2 개의 거울 사이에 기질을 회전시켜야합니다. ASSI SV-702 Tool은 생산량을 극대화하고, 일관된 품질을 보장하며, 폐기물을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. ADVANCED SPIN Asset INC SV-702 모델에는 개별 필름 또는 기판 유형에 맞게 프로세스를 조정하는 여러 기능이 있습니다. 여기에는 인접 필름 코팅의 카세트 홀더를 회전시키는 회전 단계, 효율적인 저항 전달 및 균일성을위한 매우 낮은 침수 쿼츠 노즐, 반복 가능하고 정확한 정렬을위한 조절 가능한 기판 클램프 (clamp) 가 포함됩니다. 또한, 이 장비에는 원격 제어 가능한 인터페이스가 있어, 사용자가 이더넷을 통해 원격으로 시스템을 실행할 수 있습니다. 또한 SV-702 장치에는 현미경 이미지, 횡단면, 스펙트럼 프로파일, 개발된 프로파일, 드라이 필름 두께 등의 이미지 및 인쇄 프로세스 결과를 분석하는 강력한 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 개별 필름 유형에 대해 최적의 프로세스 조건을 정확하게 설정할 수 있습니다. 여기에는 최적의 스핀 속도, 기판 클램핑 압력, 재료 습도 매개변수 (material wetness parameters) 를 설정하는 기능이 포함됩니다. 이러한 매개변수는 반복 가능한 결과를 위해 모든 개별 프로세스와 일치하도록 조정할 수 있습니다. 이 기계에는 프로세스 안정성 및 품질 제어를 추적하기위한 통합 데이터 레코더가 있습니다. 이를 통해 사용자는 레시피 (recipe) 및 프로세스 매개변수 (parameter) 를 장기간 모니터링하여 고급 프로세스 관리를 수행할 수 있습니다. 이 도구에는 또한 여러 필름 간의 우수한 등록 및 정렬을 달성하기위한 고급 제어 에셋 (Advanced Control Asset) 이 포함되어 있습니다. 전반적으로 ADVANCED SPIN Model INC/ASSI SV-702 Photoresist Equipment는 집적 회로의 빠른 개발을 위한 고급 도구입니다. 이 시스템은 생산 수율을 극대화하고, 일관된 품질을 보장하며, 폐기물을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. 고급 프로세스 관리를 위해 스핀 속도 (spin speed), 습도 매개변수 (wetness parameter) 및 고급 데이터 로깅 (advanced data logging) 기능을 정확하게 조정하는 기능을 갖추고 있습니다. 또한 이 장치에는 사용자가 원격으로 시스템을 실행할 수 있는 원격 제어 인터페이스가 있습니다. ASSI SV-702 Photoresist Tool은 집적 회로의 생산 응용 분야에 이상적입니다.
아직 리뷰가 없습니다