판매용 중고 KLA / TENCOR SFS 7700 #9137304

KLA/TENCOR SFS 7700은 반도체 웨이퍼에 대한 다양한 제조 매개변수 (fabrication parameter) 및 결함 유형을 측정 및 분석하기 위해 설계된 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 자동화된 광 검사 (optical inspection) 와 프로세스 측정 (process measurement) 을 사용하여 와퍼 성능에 대한 포괄적인 그림을 제공합니다. 이 플랫폼은 고급 광학, 알고리즘, 센서를 사용하여 웨이퍼 (wafer) 및 리소그래피 필름의 물리적 및 전기적 특성을 측정합니다. KLA SFS 7700 에는 두 가지 구동 구성 요소 (하드웨어, 그리고 이를 보완하는 소프트웨어 도구 모음) 가 있습니다. 플랫폼의 하드웨어는 8736 개의 독립적으로 제어 가능한 상부 및 하부 표면 픽셀로 직경 300mm (직경) 까지 이미징 웨이퍼를 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 와퍼를 정확한 방식으로 움직이고 빠른 웨이퍼 스캐닝 (wafer scanning) 을 가능하게 하는 고속 스테이지가 특징입니다. 이 장치에는 사용자 인터페이스, 완전 디지털 현미경 및 컬러 비 접촉 디스플레이도 포함됩니다. 이 기계는 웨이퍼 (wafer) 를 분석하고 잠재적 결함 또는 불규칙성을 감지하는 소프트웨어 도구 모음을 갖추고 있습니다. 소프트웨어 제품군에는 라인 웨이퍼 피쳐 도구, 금속 레이어 검사 도구, 색상 스크래치 검색 도구, 입자 감지 도구 등이 포함됩니다. 이러한 도구는 웨이퍼 두께, 반사율, 선 너비 변형, 필름 균일성 등 다양한 제조 매개변수를 분석합니다. 이 도구는 통합 자동 결함 진단 자산, 섀도우 및 입자 이미징 모델, 오버레이 측정 장비, 평판 측정 시스템 (flatness measurement system) 도 제공합니다. TENCOR SFS 7700은 또한 고객 지원 및 교육을 포함한 포괄적인 서비스 패키지를 제공합니다. 여기에는 장치 설치, 유지 보수, 문제 해결을 지원하는 기술 지원, 교육, 애플리케이션 엔지니어 팀이 포함됩니다. 추가 지원은 다양한 문서와 온라인 리소스를 통해 제공됩니다. 전반적으로, SFS 7700은 정확하고, 안정적이며, 반복 가능한 측정 및 분석을 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 광범위한 웨이퍼 (wafer) 기반 제품의 생산 및 제조에 적합합니다.