판매용 중고 DNS / DAINIPPON STM-603-PLS #9121891

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DNS / DAINIPPON STM-603-PLS
판매
ID: 9121891
웨이퍼 크기: 6"
Particle counter, 6".
DNS/DAINIPPON STM-603-PLS 는 반도체 제조 공정 내에서 수율과 신뢰성을 높이기 위해 특별히 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템에는 혁신적인 광학 기술, 실리콘 엣지 센서 2 (Silicon Edge Sensor 2) 가 장착되어 있어 뛰어난 성능과 매우 정확한 임계 에지 구조 측정이 가능합니다. 이 장치에는 강력한 소프트웨어 (Powerful Software) 가 장착되어 있어 제조 공정의 잠재적 결함을 쉽게 파악하고 격리할 수 있습니다. 컴퓨터에는 편리한 GUI (그래픽 인터페이스) 가 있어 편리하게 메뉴를 탐색하고 기능, 기능을 액세스할 수 있습니다. photoresist, graininess, line width roughness, 포물선 조명, non-contact 측정 및 기타 edge-to-edge 구조를 분석하는 등 다양한 특성을 측정할 수 있습니다. DNS STM-603-PLS (Advanced Optical Technology) 는 소규모 결함을 감지하는 기능과 허위 가장자리, 불균일성 (Non-Unifority of Light) 과 같은 대규모 결함을 제공합니다. 이 도구 에는 높은 "탐지 '속도 와 일정한 측정 에 있어서 고도 의 정확도 가 포함 된다. 또한, 이 도구는 자동 정렬 (automated alignment) 기술을 사용하여 마스크 패턴의 미세한 변화를 측정하는 기능을 제공합니다. 자산은 대용량 이미지 메모리 (large image memory) 로 제작되어, 동일한 결함의 이미지를 여러 개 찍을 수 있게 해 주므로, 향후 분석을 위해 모든 관련 데이터를 수집하고 저장할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 마스크 패턴의 다양한 필드에 있는 이미지 데이터 (image data) 를 측정 및 분석하여 패턴 종속 아티팩트 (pattern-dependent artifacts) 및 기타 원치 않는 피쳐를 식별할 수 있는 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 통계와 함께 동적 차트와 SPC 차트를 생성할 수도 있습니다. DAINIPPON STM-603-PLS (DAINIPPON STM-603-PLS) 는 저렴한 마스크 및 웨이퍼 검사를 지원하여 운영 비용을 절감하고 프로세스 안정성을 향상시킵니다. 또한, 이 장비는 인라인 (in-line) 제조 개선 또는 최종 프로세스 감사를 위해 추가 품질 보증 도구로 사용될 수 있습니다. 또한, 생산 과정의 초기 단계에서 잠재적 결함을 발견함으로써 스크랩 (scrap) 을 줄이고 수익률을 높일 수 있습니다. 전반적으로 STM-603-PLS는 효율적이고, 정확하며, 비용 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 사용자 친화적 플랫폼을 제공합니다. 고급 분석 (Advanced Analysical) 기능을 활용하고, 반도체 (Semiconductor) 제조 공정의 결함을 검사하고 식별할 수 있는 강력한 툴을 제공하는 강력한 소프트웨어를 제공합니다.
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