판매용 중고 AEROTECH ABRS-150MP-M-AS #135149

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ID: 135149
Air bearing rotary stage with A3200 controller Automation 3200 software Interface cable Firewire cable Certificate of accuracy included Average accuracy: 2.5 arc-seconds.
AEROTECH ABRS-150MP-M-AS는 탁월한 처리량과 성능을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 다중 축 자동화, 고정밀 로봇 기술, 임베디드 펌웨어, 정보 추적 및 제어, 실시간 모니터링 등 최첨단 기술을 활용하여 지속적으로 변화하는 반도체 제조 환경의 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었습니다. ABRS-150MP-M-AS는 6 축 선형 축 로봇 암 조작 장치에 장착 된 본체 기지로 구성됩니다. 이 단위는 X, Y 및 Z 축을 따라, 그리고 전체 360도 회전 호를 따라 정확한 이동이 가능합니다. 로봇 암 (Robotic Arm) 의 개방형 디자인은 웨이퍼 표면의 범위를 확대하여 최대의 제어 및 유연성을 제공합니다. "로봇 '암 에는" 다이' 위치 와 방향 을 주 의 깊이 모니터링 하면서, 모든 크기 와 모양 의 "웨이퍼 '를 정확 하게 배치 하고 선택 할 수 있는 고급 시력 장치 가 더욱 갖추어져 있다. AEROTECH ABRS-150MP-M-AS는 직관적이고 다양한 사용자 인터페이스를 갖추고 있으며, 웨이퍼 처리 매개변수 및 모든 설정에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 통합 재료 머신 (Integrated Material Machine) 은 손쉽게 손쉽게 손질 및 전송을 위한 웨이퍼/캐리어를 로드하고 언로드할 수 있으며, 정렬/재확보 도구 (옵션) 는 재사용 및 스크랩 복구 측면에서 웨이퍼 처리를 단순화합니다. ABRS-150MP-M-AS는 또한 잠재적 인 손해로부터 인원, 장비, 부품 및 프로세스에 대한 보호를 위해 내장 안전 메커니즘을 제공합니다. 이러한 안전 기능에는 장벽, 동봉 된 레이저 감지 시스템, 에너지 감지 스위치 및 자동 차단 스위치가 포함됩니다. 또한, 개방형 자산으로서, AEROTECH ABRS-150MP-M-AS는 다양한 웨이퍼 처리 응용 프로그램의 특정 요구 사항을 충족하도록 빠르고 쉽게 사용자 정의 할 수 있습니다. 전반적으로 ABRS-150MP-M-AS 는 강력하고 효율적인 웨이퍼 (wafer) 처리 모델로, 반도체 업계와 관련된 거의 모든 프로세스를 자동화할 수 있습니다. AEROTECH ABRS-150MP-M-AS는 멀티 축 로봇, 임베디드 펌웨어, 직관적인 사용자 인터페이스, 옵션 정렬 및 재확보 장비를 통해 광범위한 웨이퍼 처리 어플리케이션을 위한 사용하기 쉽고, 안정적이며, 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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