판매용 중고 VG SEMICON VG80 #9193894

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ID: 9193894
MBE System Manipulator, 3" Rheed Metallization chamber (2) E-beam sources Included: Manipulators Transfer mechanisms AGER Spectrometer.
VG SEMICON VG80은 반도체 재료 및 장치의 성장에 사용되는 최첨단 MBE (molecular beam epitaxy) 장비입니다. MBE (High-Vacuum Condition) 를 요구하는 복잡하고 광범위하게 사용되는 박막 증착 기술로, 모든 가스가 증착 과정을 방해하지 못하게합니다. VG80 은 낮은 에너지로 운영되기 때문에 까다로운 산업 환경에 이상적인 선택이며, 프로세스 안정성 (process stability), 품질 (quality), 수율 (yield) 을 최적화하는 여러 옵션이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 전자 또는 이온 폭격 및 레이저 어닐링을 사용하여 최대 1,050 ° C의 고온 기질을 처리 할 수 있습니다. 또한 산소와 수증기의 부분 압력을 초저압 (ultra-low-level) 으로 줄일 수있는 초저압 증착 단계를 포함합니다. VG SEMICON VG80에는 수소, 헬륨, 질소, 일산화탄소 및 6 불화 황을 포함한 다양한 가스 원과 기타 여러 옵션 가스가 포함됩니다. VG80에서 달성 할 수있는 가장 작은 기능 크기는 약 5nm이며, 고급 현장 플라즈마 소스 (in-situ plasma source) 및 고해상도 특성 도구가 장착되어 있습니다. VG SEMICON VG80은 뛰어난 균일성과 부드러운 인터페이스를 제공 할 수 있으며, 이는 옵토 전자 장치, FET 및 기타 나노 구조의 제작에 필수적입니다. 이 장치는 재료의 자동 증착, 특성, 수율 분석을 위해 설계된 강력하고 정교한 소프트웨어 (Software Suite) 로 제어됩니다. 증착 프로세스 제어 외에도, VG80 은 균일성 및 순도 제어를 위한 강력한 조작 기능을 갖추고 있습니다. 마지막으로, 긴급 프로세스 중지 (Emergency Process Stop) 및 과부하 보호 모드 (Overload Protection Mode) 와 같은 VG SEMICON VG80의 고급 안전 기능은 시장에서 가장 안정적이고 강력한 MBE 시스템 중 하나입니다. 다양한 기능과 기능을 갖춘 VG80 은 LED, 스마트 디스플레이, 사진 등의 어플리케이션에 적합합니다. 반도체 제품, 장치 제작을 위한 안정적이고 강력한 기계입니다.
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