판매용 중고 VARIAN / VEECO GEN III #9196890

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ID: 9196890
MBE System (3) Wafers: 2" Single: 4" Single: 3" Single: 2" / 3 x 2" 1999-2002 vintage.
VARIAN/VEECO GEN III 분자 빔 에피 택시 (MBE) 장비는 나노 미터 척도에서 박막 재료를 증착하기위한 가장 진보 된 시스템 중 하나입니다. 이 시스템은 3 개의 다른 에피 택시 성장원, 즉 2 개의 저에너지 전자 빔 증발기와 초고 진공 산산조각 진공 소스의 조합을 사용합니다. 기존 MBE 시스템보다 최대 2 배 높은 성장률을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, VEECO GEN III는 각 소스마다 우수한 온도 조절 및 정밀도를 가지고 있으며, 더 높은 성장률, 더 높은 적합성 및 성장 과정을 세밀하게 조정 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 현장 반사 및 반사 고 에너지 전자 회절 (RHEED) 을 포함한 다양한 측정 및 모니터링 기능과 마이크로 라만 (micro-Raman), 스캐닝 전자 및 원자력 현미경을 사용한 통합 분석을 갖추고 있습니다. 또한, 다양한 소프트웨어 툴을 통해 엔지니어는 성장 프로세스 (Growth Process) 의 모든 측면을 모니터링하고 관리할 수 있습니다. VARIAN GEN III (VARIAN GEN III) 은 또한 다양한 기판 및 비활성 가스를 제공하여 사용자가 구성 및 특성 측면에서 광범위한 재료를 만들 수 있습니다. 여기에는 III-V 화합물과 산화물, 질화물 및 옥시 니트 라이드가 포함됩니다. 또한, GEN III의 고급 온도 조절 (temperature control) 기능을 통해 각 재료마다 온도가 다른 순차 성장 공정에서 2 개의 재료를 병렬 증착하여 다중 레벨 장치 제조를 제공 할 수 있습니다. 전반적으로, MBE 성장 과정과 VARIAN/VEECO GEN III 분자 빔 에피 택시 머신의 고급 측정 및 모니터링 기능으로 인해 가장 강력한 박막 재료 성장 시스템 중 하나입니다. 얇은 필름 (thin film) 에서 다른 재료로 구성된 3 차원 장치 (device) 에 이르기까지 다양한 특성을 가진 재료를 생산할 수 있습니다.
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