판매용 중고 VARIAN / VEECO GEN 200 #9187475

VARIAN/VEECO GEN 200은 III-V 화합물의 성장에 국한되지 않지만, 다양한 박막 증착 과정을 촉진하도록 설계된 분자 빔 에피 택시 (MBE) 장비입니다. 그것은 높은 진공 챔버, 가열 된 기판 홀더 및 멀티 건 에퓨전 셀 배열로 구성됩니다. 챔버에는 퍼징, 열 및 기계 차폐, 도펀트 가스 도입을위한 보조 부품이 장착되어 있습니다. 이 MBE 시스템의 주요 특징은 2 개의 독립적으로 통제 된 발작 세포, 이중 저항 가열 기판 홀더, 그리고 즉석에서 2 개에서 4 개로 전환 할 수있는 기능입니다. 기질 온도는 정확도 또는 ± 5 ° C로 10 ° C ~ 1000 ° C 범위에서 설정 및 유지 될 수 있습니다. 높은 진공 실의 배경 압력은 5.0x10-10 Torr, 처리량은 초당 6.0 리터입니다. 샘플 제거 및 충전 중화 목적으로, 이 장치에는 가스 셔터, 정전기 이온-중화기, 밀폐 된 증발기가 장착되어 있습니다. VEECO GEN 200의 주요 목적은 균질하고 고품질 박막을 생산하는 것입니다. 그것 은 고급 "에퓨전 '세포 조절기 를 사용 하여 소스" 온도' 를 정확 하게 조절 하고, 그 결과 "에너지 '는 소스 재료 의 질량 전달 속도 가 계속 된다. 이 도구는 매끄럽고 평면적인 서피스로 물질적 성장 (material growth) 을 만들어 정확한 도핑 농도를 가능하게합니다. 고급 및 프로그래밍 가능한 디자인으로 VARIAN GEN 200은 다중 계층 (multi-layer) 및 단일 계층 증착 (single-layer deposition) 을 모두 수행할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 연구 및 산업 응용 프로그램 모두에 대해 탁월한 박막 (Thin Film) 속성을 가진 샘플을 만들 수 있습니다. 또한, 이 MBE 자산에는 정교한 데이터 획득 (data acquisition) 모델이 장착되어 있어 사용자가 실시간으로 다양한 증가 조건을 모니터링할 수 있습니다. 장비에는 시스템의 제어 및 작동을 단순화하는 고급 GUI (Graphical User Interface) 도 있습니다. 전반적으로, GEN 200은 이중 독립 발진 세포, 온도 조절 및 가스 제거 메커니즘을 갖춘 고가용성 MBE 장치입니다. 정교한 컨트롤 머신 (control machine) 과 높은 정밀도 (precision) 로, 이 도구는 품질과 균질성이 뛰어난 다양한 박막 재료를 생산할 수 있습니다.