판매용 중고 EPI 930 #9171186

EPI 930은 River, Inc.에서 만든 MBE (Molecular Beam Epitaxy) 장비입니다. 최고 품질의 극도로 정밀하게 에피 택시 (epitaxial) 재료를 성장시킬 수있는 멀티 칼럼, 고 진공 처리 시스템입니다. 일반적으로 집적 회로, 태양 전지 및 기타 광전자 장치를 제조하는 데 사용됩니다. 930은 6 열 또는 "갈매기 날개" 를 특징으로하며, 이는 superlattice 또는 이종 구조와 같은 다층 성장에 적합합니다. 여러 가지 효능 세포, 근원, 총, "밸브 '들 이 모두 부대 의 중앙 에 위치 해 있도록 기둥 들 이 위치 해 있다. 이를 통해 모든 시약은 최소한의 손실로 기판에 평행 한 경로를 이동 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 GaAs, InP 등 다양한 재료를 성장시킬 수 있습니다. 이 기계는 차가운 함정과 이온 게터 (ion getter) 로 뒷받침되는 터보 분자 펌프를 사용하여 지속적으로 필터링 및 조절되는 고진공 환경 (< 1E-9 mbar) 을 자랑합니다. 이를 통해 가장 깨끗한 성장 환경을 통해 품질과 정밀도를 극대화할 수 있습니다. 또한, 원격 챔버 기본 압력 모니터 (remote chamber base pressure monitor) 는 평형 압력이 항상 유지되도록 보장합니다. 또한, 저율 폴리 실리콘 소스는 EPI 930에 통합되어 재배 된 레이어의 배경 도핑을 더 잘 제어합니다. 온도를 조절하고 성장을 촉진하기 위해 930은 저열 질량 e- 빔 증발기, 하중 잠금 웨이퍼 히터, 가스 투여 도구를 갖추고 있습니다. 로드 잠금 웨이퍼 히터는 기판과 직접 접촉하여 정밀도 및 균일 한 가열을 보장합니다. 최대 700 ° C의 온도를 통해 사용자는 다양한 반도체, 금속, 합금을 성장시킬 수 있습니다. 또한, 통합 소프트웨어 컨트롤러는 단일 중앙 콘솔 (Central Console) 에서 시약을 쉽고 정확하게 조작 할 수 있습니다. 이를 통해 운영 비용을 절감하고 재료 폐기물을 줄일 수 있습니다. 또한 EPI 930 자산은 진동이없는 공기 부동 기반을 기반으로 구축되어 모션 기반 오류를 방지합니다. 이를 통해 최고 수준의 정밀도 및 생산 수율이 가능합니다. 전체적으로, 930은 고정밀 집적 회로, 태양 전지 및 광전자 장치를 제조 할 수있는 고급 멀티 칼럼 MBE 모델입니다. 이 장비는 매우 정밀하고 운영 비용 (cost-of-operation) 이 줄어든 다양한 재료를 제작할 수 있습니다.