판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR MicroXAM #9189675

ADE/KLA/TENCOR MicroXAM은 반도체 제조에 사용되는 웨이퍼 특성을 빠르고 안정적으로 분석 할 수있는 종합 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 레이어 두께 (layer thickness), 서피스 균일 (surface unifority), 피크 영역 밀도 (peak area density) 및 제조 공정에 중요한 다른 매개변수를 포함하여 다양한 웨이퍼 서피스 매개변수의 측정 및 특성을 허용합니다. ADE MicroXAM은 자동 웨이퍼 처리 플랫폼을 중심으로 구성됩니다. 이 플랫폼을 사용하면 자동 선택/배치 처리 (automated pick and place processing) 및 정확한 웨이퍼 방향을 통해 모든 웨이퍼 매개변수를 정확하게 측정할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 핸들러 (automated wafer handler) 는 장치 전체에 이동되는 2 개의 웨이퍼 캐리어로 구성되어 여러 웨이퍼를 동시에 효율적으로 테스트, 도량형 및 분석 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고급 도량형 도구를 제공합니다. 이러한 도구를 사용하면 레이어 두께, 피크 영역 밀도, 서피스 균일 (surface unifority) 과 같은 웨이퍼 서피스의 비접촉 광학 측정과 특성화가 가능합니다. 고급 알고리즘과 소프트웨어가 제어하는 자동 초점은 정확하고 반복 가능한 측정 결과를 보장합니다. 또한 X-ray 분석 (X-ray analysis) 및 이미징 (Imaging) 지원뿐만 아니라 상세한 이미징 및 분석을 지원하는 고급 디지털 이미징 기능도 제공합니다. 또한, KLA MicroXAM 은 데이터 획득/분석 툴을 갖추고 있어 측정 결과를 빠르고 정확하게 처리/분석할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 다양한 데이터 시각화 옵션을 제공하여 중요한 구성 요소나 웨이퍼 (wafer) 특성을 신속하게 파악하고 분석할 수 있습니다. TENCOR MicroXAM은 반도체 제조 공정의 일관성과 정확성을 보장하기위한 귀중한 도구입니다. 이 모델은 빠르고 안정적인 측정과 웨이퍼 분석 (analysis of wafer) 을 제공하여 비용이 많이 드는 제조 오류를 줄이고 생산 수율을 극대화합니다.