판매용 중고 NIKON Optistation 3A #9004514

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NIKON Optistation 3A
판매
ID: 9004514
웨이퍼 크기: 5"
Automated inspection stations, 5" 1991-1997 vintage.
NIKON Optistation 3A는 정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 마스크, 웨이퍼, 다이를 빠르고 정확하게 검사할 수 있도록 설계되었습니다. NIKON OPTISTATION 3 A는 다양한 패턴 서피스에서 결함의 검사, 크기 조정 및 측정에 사용할 수 있습니다. Optistation 3A에는 고급형 옵티컬 시스템이 있어 1/1000 미크론 수준으로 내려다 볼 수 있습니다. 여기에는 고출력, 원격 중심 20x (5-100x 옵션) 장거리 근로 현미경 객관식 렌즈가 포함되어 있으며, 세로 수차 교정을 통해 선명하고 고해상도 이미지를 제공합니다. 광학 구성 (Optical Configuration) 은 필드 곡률 (Field Curvature) 과 수차 (수차) 를 줄이는 능력으로 인해 분산 재료의 검사에 적합하므로 패턴화 된 서피스의 예리한 이미지를 얻는 데 이상적입니다. OPTISTATION 3 A (OPTISTATION 3 A) 는 또한 고급 자동 정렬 및 매크로/마이크로 드리프트 보상 장치 (macro/micro drift compensation unit) 를 갖추고 있으며, 높은 정확도로 정렬 표시를 스캔 및 식별할 수 있으며, 원하는 정렬 정확도를 달성하기 위해 비표준 표본으로 작동하더라도 기계를 쉽게 조정할 수 있습니다. 정밀도 는 정밀도 "마이크로미터 '를 사용 하여 유지 되어, 공구 의 작업 거리 와 확대 를 쉽게 조정 할 수 있다. NIKON Optistation 3A는 다양한 검사 조건에 대한 광범위한 자동 단계, 렌즈, 편광기, 필터 및 광원을 포함하여 다양한 자동 및 수동 액세서리와 호환됩니다. NIKON OPTISTATION 3 A는 쉽게 업그레이드 가능하고 유연한 플랫폼으로 설계되어 다양한 카메라 시스템, 액세서리, 구성 요소를 쉽게 통합할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 자산 (asset) 을 사용자 정의 (custom) 구성하여 사용자의 애플리케이션 테스트 요구 사항과 표준에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로 Optistation 3A는 안정적이고 매우 정확한 웨이퍼/마스크 검사 모델로, 정확하고 정확한 테스트 프로세스에 필요한 효율성과 성능을 제공할 수 있습니다. 최단 시간 내에 다양한 표면 패턴 (surface pattern) 을 빠르고 정확하게 검사할 수 있도록 설계되었으며, 사용자 친화적이며 유연하게 사용할 수 있습니다.
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