판매용 중고 ACCRETECH / TSK Win-Win 50-A5000 #9178343
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판매
ID: 9178343
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Wafer inspection system, 12"
Software version: 7.1.0.0
Hardware configuration (Fab):
Main system:
Main body
12" FOUP System:
(2) Brooks fixload
Handler system:
(1) Wafer handing robot
Process Chms:
(1) Inspection unit
(1) Operator console
Hardware configuration (Subfab / Auxilliary Units):
IPU (Images processing unit)
Fan box (Blower)
UPS
A5000 Configuration:
FOUP: Shin-Etsu
Process gasses:
Process gas 1: PIVAC
Process gas 2: CDA
Wafer / Cassette handling:
Wafer type: 12" Semi standard notch
FOUP Type: Shin-Etsu
(25) Cassette wafers
(2) Cassette storages
Fork variable pitch: Twin fork
Boat / Pedestal
(1) Production wafer
System controls:
Signal tower colors: G/G/R/B
General pressure display units: Pressure Mpa
Host communications:
Host communications: User host computer
Information transfer protocol: GEM-SECS
Facility electrical equipment:
2-Line power input
200 VAC, 3 Phase
CE Marked
2006 vintage.
ACCRETECH/TSK Win-Win 50-A5000은 제품 결함을 줄이기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 마스크 및 웨이퍼의 패턴 정렬 및 오버레이에서 이상을 7 나노 미터 이내로 감지 할 수 있습니다. 이를 통해 빠르고 안정적인 생산 검사를 할 수 있습니다. 시스템에서 오류, 접촉 문제 (Contact Issue) 또는 결함 반복 (Repeating Error) 과 같은 결함을 감지할 수 있습니다. 또한 1 나노 미터 아래의 원거리 초점 (focal point) 에서 패턴 정렬 오류를 감지하는 데 도움이됩니다. 이 장치에는 모든 측정 결과를 동일한 원점으로 추적 할 수 있도록 통합 빔 틸트 모니터 (integrated beam tilt monitor) 가 있습니다. 이는 여러 웨이퍼를 측정 할 때에도 일관된 검사를 보장합니다. TSK Win-Win 50-A5000 은 이미지 분석 기능을 통합하여, 측정 이미지를 대상 이미지와 쉽게 비교하여 결함을 신속하게 감지할 수 있게 해 줍니다. 또한 고속 반복 가능한 측정이 가능한 단계 및 반복 이미지 캡처 옵션을 제공합니다. 이 기계에는 이미징 정확도를 유지하는 데 도움이되는 빠른 레이저 자동 초점 도구가 있습니다. 또한 이미지를 실시간으로 캡처하는 정교한 인챔버 통합 카메라가 있습니다. ACCRETECH WIN 50-A5000 을 사용하면 단일 웨이퍼에서 여러 측정이 동시에 수행되므로, 운영 주기 시간을 줄이고 프로세스 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 조명에이트 (lumination asset) 는 측정하는 데 소요되는 시간을 줄이는 데 도움이 되는 고급 조명에셋을 가지고 있습니다. 이 모델은 여러 산업 표준 소프트웨어 플랫폼 (Industrial Standard Software Platform) 과도 호환되며, 이를 통해 더욱 효율적입니다. 또한 유연성과 확장성을 갖추고 있어 모든 규모의 제조 환경 (Manufacturing Environment) 에 적합합니다. 전반적으로, Win-Win 50-A5000 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 매우 안정적이고 효율적인 도구로서, 제조 효율성을 향상시키는 동시에, 생산상의 결함을 줄이는 데 도움이 됩니다. 모든 제조 공정에 귀중한 추가 기능입니다.
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