판매용 중고 NIKON Projection Aligner #200355

ID: 200355
System 100 V, 50 / 60 Hz, 6 A.
NIKON Projection Aligner는 마이크로 일렉트로닉 장치 제작, 포토 마스크 제작, 하이브리드 회로 (hybrid circuit) 용 세밀선 (fine-line) 과 같은 고급 석판화 응용 프로그램을 위해 설계된 마스크 정렬 자입니다. 이 장비는 높은 정확도, 안정적인 정렬 및 효율적인 작동을 특징으로합니다. 첨단 광학 기술 (Advanced Optical Technology) 을 활용하여 넓은 시야에 걸쳐 정확하게 정렬할 수 있으며, 높은 수율과 향상된 제품 품질을 제공합니다. Projection Aligner는 투영 렌즈와 망원경으로 구성된 2 렌즈 광학 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치의 고급 정렬 알고리즘 (advanced alignment algorithm) 은 투영된 이미지의 명암비 (contrast ratio) 와 명암비 (contrast ratio) 를 사용하여 일반적으로 수동 정렬에 너무 작은 장치 웨이퍼 영역을 정확하게 정렬합니다. 마스크의 동시 2 축 (X-Y) 이동을 갖는 원격 중심 광학을 활용하여, 기계는 수동 정렬보다 시간 프레임에서 -200um 패턴을 정확하고 안정적으로 정렬 할 수 있습니다. NIKON 투영 정렬 (NIKON Projection Aligner) 은 포토마스크를 투영 방향으로 빠르고 정확하게 배치하도록 설계된 빠른 스캔 단계를 갖춘 3축 도구입니다. 또한 빠른 스캐닝 (fast-scanning) 단계를 통해 기판의 여러 사이트에서 자동 정렬 및 노출이 가능하므로 대량 생산이 가능합니다. 렌즈 망원경 자산에는 Z축을 따라 등록하기위한 동기 제어 (synchronous control) 와 자유형 투영 영상을 보장하기 위해 자동 초점 모델이 장착되어 있습니다. 또한, 장비에는 LED 광원이 장착 된 외부 카메라와 마스크 패턴 또는 기판 패턴을 볼 수있는 고해상도 디스플레이가 있습니다. 수동 정렬이 필요한 경우 이 기능을 사용하여 수동으로 조정할 수 있습니다. 또한 Projection Aligner 는 매우 민감한 조정 조이스틱 (joystick) 과 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 최소한의 교육 요건으로 빠르고 쉽게 작업할 수 있습니다. 요약하면, NIKON Projection Aligner는 높은 정확도, 안정적인 정렬 및 효율적인 작동을 제공하여 첨단 석판화 응용 프로그램에 이상적입니다. 빠른 스캐닝 스테이지, 직관적인 사용자 인터페이스, Z축을 따라 동기식 제어 (Synchronous Control) 기능을 통해 시간이 단축되고 생산량이 증가합니다. 또한 외부 카메라와 LED 광원을 사용하면 기판 및 마스크 패턴을 수동으로 정렬하고 볼 수 있으므로 포토마스크 (photomask) 를 정확하게 등록할 수 있습니다.
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