판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9182874

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ID: 9182874
Mask aligners Hard-contact mode.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3은 집적 회로를 제조하는 데 사용되는 아트 마스크 정렬 자의 상태입니다. 높은 정확성과 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 5 m 해상도, 낮은 열 드리프트, 스텝 및 반복 정렬 장비를 갖춘 풀 필드 옵티컬 마스크 정렬기입니다. MICROTEC MJB3 도구는 다중 기판 처리 기능을 갖춘 7 축 로봇 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 폐쇄 된 환경에서 작동하며 최대 200mm 크기의 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있습니다. 진공 척은 0.003 "~ 0.075" 의 웨이퍼 두께를 유지할 수 있습니다. KARL SUSS MJB 3의 자동 정렬 기계는 생산을 위해 정확한 현장 내 정렬을 허용합니다. KARL SUSS/MICROTEC MJB 3의 자동 초점 도구는 자동으로 정렬을 조정하여 다양한 웨이퍼 및 기판 두께를 보상합니다. 소프트웨어는 사용자 설정에 따라 정렬 설정을 조정하고, 웨이퍼 (Wafer) 및 마스크 (Mask) 에서 현재 설정에 대한 직접 피드백을 제공합니다. KARL SUSS MJB 3에는 고급 기울기 일반화 (advanced tilt generalization) 및 이미지의 스트레치 또는 시프트 (shift) 가 장착되어 마스크를 웨이퍼에 정확하게 정렬 할 수 있습니다. MICROTEC MJB-3은 맞춤형 노출 매개변수를 갖춘 새로운 고속 노출 자산을 갖추고 있습니다. 노출 모델은 UV 광원을 기반으로하며 9.5 "x 9.5" 필드 크기에 대한 선형 UV 노출을 제공합니다. 통합된 실시간 반사계 (Real-Time Reflectometer) 는 노출 강도와 설정을 모니터링하고 이 정보를 중계하는 동시에 노출 시간을 적절히 조정합니다. KARL SUSS/MICROTEC MJB 3에는 다양한 안전 기능과 내장 센서가 장착되어 있습니다. "레이저 '해설계 는" 에너지' 수준 을 초과 하지 않도록 "워크플로우 '를 중단 시키지 않고" 에너지' 밀도 를 측정 한다. MICROTEC MJB 3 의 인력 연동 및 플래시 드라이브 액세스 제어는 추가 보안을 위해 정렬 스테이션에 대한 액세스를 제한합니다. 결국, MJB3는 집적 회로 생산에서 높은 정확성과 유연성을 제공하는 탁월한 선택입니다. 고급 정렬 장비, UV 광 노출 및 안전 기능으로 인해 KARL SUSS MJB-3은 까다롭고 변화하는 집적 회로 산업에 이상적인 선택이되었습니다.
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