판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 24 #60054

KARL SUSS/MICROTEC MA 24는 다양한 photolithography 응용 프로그램을 위해 설계된 자동 마스크 정렬 자입니다. 이 기계는 매우 정밀하게 설계되었으며, 0.25 äm 미만의 해상도를 달성 할 수 있습니다. 그것 은 "마스크 '와 기판 사이 의 정렬 을 고도 의 정확도 로 평가 하는 데 사용 되는 광학" 카메라' 를 갖추고 있다. MICROTEC MA 24에는 다양한 어플리케이션 (예: 스테퍼 정렬 제어 및 수동 정렬 수정) 에 대한 여러 기능이 포함되어 있습니다. 정렬 프로세스를 시작하기 위해 KARL SUSS MA 24는 기판 (기판) 을 받으며, 기계는 기계의 홀더에 배치됩니다. 기판 은 "실리콘 '," 실리카' 및 유리 와 같은 여러 가지 물질 로 구성 될 수 있으며, 그 기판 의 크기 는 여러 가지 기판 크기 에 적응 하도록 설계 되었다. 기판 을 적재 한 다음 "마스크 '반송파 에" 마스크' 를 넣은 다음 "마스크 '위치 단계 에" 마스크' 를 적재 하여 기판 에 완전 히 맞춘다. 그런 다음 MA 24는 레티클 전송 프로세스를 시작하기 전에 간단한 마스크 정렬 프로세스를 실행합니다. 레티클 전송 프로세스를 수행하려면 KARL SUSS/MICROTEC MA 24가 LED, 아크 램프, 베셀 빔, 레이저 투영 시스템 등 다양한 고급 옵틱을 사용하여 마스크의 패턴을 기판으로 정확하게 전달해야합니다. "스테퍼 '정렬" 컨트롤' 과 결합 된 이러 한 광학 은 "레티클 '을 기판 에 매우 정확 하게 배치 할 수 있게 해 준다. 또한 마이크로텍 (MICROTEC) MA 24 (MA 24) 에는 수동 정렬 수정 기능이 포함되어 있어 사용자가 기판의 마스크 정렬을 변경하여 레티클을 보다 정확하게 배치할 수 있습니다. 레티클 전송 프로세스가 완료된 후, KARL SUSS MA 24는 경화 단계로 진행되며, 여기서 이동 된 패턴은 저항 물질을 경화시켜 기판으로 영구적으로 전달된다. MA 24는 현재 응용 프로그램의 요구 사항에 따라 UV 치료 램프 (curing lamp) 또는 핫플레이트 (hotplate) 를 장착 할 수 있습니다. 마지막으로, 패턴을 치료한 후, 기판을 제거하지 않고 정렬 (alignment) 프로세스를 반복하여 다른 마스크를 동일한 기판에 정렬하도록 기계를 설정할 수 있습니다. 전반적으로 KARL SUSS/MICROTEC MA 24는 다양한 photolithography 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 매우 정확한 마스크 정렬 자입니다. 고급 광학 장치 (advanced optics) 와 정렬 기능 (alignment feature) 을 통해 기판에 매우 정확한 레티클 배치가 가능하며, 그 경화 기능을 통해 패턴이 기판에 영구적으로 부착됩니다. 이전 정렬에 사용된 동일한 기판을 재로드 (reload) 하면 처리 시간이 절약되고 효율성이 향상됩니다.