판매용 중고 EVG / EV GROUP 6200 #9168654

ID: 9168654
Double sided mask aligner.
EVG/EV GROUP 6200 Mask Aligner는 반도체 제작, 마이크로 일렉트로닉스 및 광자 산업의 리소그래피 및 검사 응용 프로그램을 위해 설계된 강력한 자동 장비입니다. 이 정밀 설계 장비는 웨이퍼 (Wafer) 에서 반도체 칩, 평면 패널 디스플레이에 이르기까지 다양한 기판에 균일한 고해상도 이미지를 생성할 수 있습니다. EVG 6200 Mask Aligner는 오버레이 정확도가 높고 위치 반복 가능성이 뛰어난 5 um (0.2 마일) 의 XY 해상도를 특징으로합니다. 이 용량은 매우 복잡한 회로와 집적 회로를 구성 할 수 있습니다. 효율적이고 낮은 드리프트 조작성을 갖춘 EV GROUP 6200은 최대 크기가 200mm x 200mm (8 "x 8") 인 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한 6200 Mask Aligner 는 신뢰할 수 있는 성능 외에도 다양한 기능을 제공합니다. 기본 제공되는 웨이퍼 처리 시스템을 사용하면 완전하게 자동화된 웨이퍼 로드, 언로드 및 정렬이 가능합니다. 이 장치에는 LED 기반 카메라 머신도 포함되어 있으므로 깨끗하고 정확한 마스크 마이크로 그래프가 가능합니다. 각 마스크 정렬기 (mask aligner) 의 데이터는 고속 네트워크 연결을 사용하여 저장 및 전송하여 운영 효율성을 높일 수 있습니다. EVG/EV GROUP 6200 Mask Aligner에는 프로세스 모니터링 시스템, 레이저 노출 제어 등 다양한 어플리케이션과 액세서리가 추가로 장착될 수 있습니다. 이러한 시스템을 함께 사용하면 해상도 향상 기술, 양면 리소그래피, 고급 패키징 (advanced packaging) 과 같은 고급 프로세스에서 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 고급, 신뢰할 수 있는 기술로 구성된 EVG 6200 Mask Aligner는 고성능, 고성능, 처리량 리소그래피 및 검사 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 광범위한 환경에서 사용하기에 적합한 EV 그룹 6200 (EV GROUP 6200) 은 운영 효율성을 높이고 비용을 최소화하는 효과적인 방법입니다. 낮은 드리프트 동작과 뛰어난 오버레이 정확도로, 6200 Mask Aligner는 다양한 정밀하고 복잡한 어플리케이션을 위한 완벽한 도구입니다.
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